Abnormity of Etching and PSG.pptxVIP

Abnormity of Etching and PSG本周出现新的异常，表现为前清洗后扩散面有小黑点，漏电率较高，且隔离较多。目前原因正在排查，可能与槽体不洁净相关。现将照片补入前清洗异常汇总［9.槽体、皮带和齿轮不洁净］。There was a new abnormal situation in this week. It was described that some tiny black point existed on the diffusing surface and leakage of wafer was serious. At present, we team didn’t find the exact cause, and just thought this situation may be related to dirty in the bath. The picture has been put into the integration.一.前清洗常见异常汇总1.来料异常（1）1.异常描述制绒后正反两面同一位置出现白斑2.异常原因分析认为系来料异常3.解决办法将不良情况反映给硅片、多晶车间暂停产线，排查原因；4.异常片处理异常片不能下传，一般做隔离处理2.来料异常（2）1.异常描述片子正反两面出现圈状印痕，在CVD后变得尤为明显；2.异常原因分析认为系来料异常3.解决办法将不良情况反映给硅片、多晶车间暂停产线，排查原因；4.异常片处理异常片不能下传，一般做隔离处理3.来料异常（3）1.异常描述制绒后表面出现密集的黑点，且无法去除2.异常原因目前的结论为来料异常3.解决办法将不良情况反映给硅片、多晶车间，暂停产线，排查原因；4.异常片处理异常片不能下传，一般做隔离处理4.滚轮印处扩散蓝点1.异常描述扩散后滚轮印处出现扩散蓝点2.异常原因1.停机时间较长；2.硅片上有药液残留或其他沾污；3.药液流量偏小；3.解决办法1.跑假片清理滚轮；2.将药液排入TANK，冲洗滚轮；3.适当增加流量；4.异常片处理轻微滚轮印片子可直接下传，较重则隔离后集中返工处理5.黄斑1.异常描述硅片表面出现黄色斑点状粘污2.异常原因1.碱槽喷淋故障；2.碱槽不循环；3.碱槽流量低或浓度低；4.结晶盐析出堵塞滤芯，导致碱槽循环不畅3.解决办法针对上述问题逐一排查4.异常片处理集中返工处理6.液滴1.异常描述制绒后硅片表面出现半透明圆圈状斑点2.异常原因外围排风停止，导致挥发出的酸气和碱气不能及时抽走，形成液滴滴落在硅片表面3.解决办法跟外围一起调节排风，校准排风传感器的灵敏度4.异常片处理集中返工7.水珠吹不干1.异常描述制绒后片子的非扩散面边缘有水珠2.异常原因1.表面氧化层未去除干净2.风刀堵塞3.来料问题3.解决办法1.往酸槽中补加适量的HF；2.通知设备检查并冲洗风刀；3.如上述方法无效，则对切判断是否来料有问题4.异常片处理集中返工处理8.药液残留1.异常描述非常严重的药液残留，腐蚀异常2.异常原因1.外围电压波动过大，设备部分接触 器保护跳电；2.滚轮突然停止转动；3.酸槽、碱槽、或冲水槽突然跳闸3.解决办法1.通知外围检查电路波动，2.稍微调大了保护电流的范围3.外围紧固配电柜内三相电B相接头4.异常片处理集中返工处理1.异常描述制绒后扩散面出现黑点，印刷漏电严重2.异常原因1.槽体、皮带不干净2.齿轮不干净3.其他原因导致（正在排查）3.解决办法1.清洗槽体、皮带2.超声波清洗齿轮3.大量跑假片清除异常4.异常片处理集中返工处理9.槽体、皮带、齿轮不洁净二.后清洗常见异常汇总1.擦伤1.异常描述CVD后硅片表面出现白色的印痕2.异常原因产线员工上片时硅片与片盒之间摩擦造成3.解决办法无声操作，5S4.异常片处理隔离处理2.滚轮印1.异常描述镀膜后出现白色滚轮印2.异常原因一般认为系后药液残留所致3.解决办法1.轻微滚轮印跑假片即可解决；2.仅为非扩散面有滚轮印，一般通过加大流量和适当补加H2SO4即可解决3.双面都有滚轮印则要将药液排入TANK，冲洗上下滚轮，跑假片恢复4.异常片处理1.轻微滚轮印一般下传；2.较重滚轮印会导致PECVD后表面色差，需隔离后集中返工处理3.药液残留1.异常描述PECVD后硅片表面发现深色斑点2.异常原因后清洗酸槽或碱槽浓度异常，导致碱液或酸液残留3.解决办法补加药液，必要时需更换新药4.异常片处理异常轻微时下传，严重时则隔离4.喷淋异常（1）1.异常描述铝背场印刷后表面颜色不均匀2.异常原因后清洗碱槽未喷淋，造成大量酸液流入碱槽，结晶成盐，导致碱槽滤芯被堵，流量减小；3.解决办法1.打开碱槽喷淋；2.提高浮子流量计底部传感器位置，使流量降低时而不是完全为零时就开始报警，减少损失4.异常片