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先进制造技术论文 超精密加工技术发展与应用Ultra-precision processing technology development and application 班级：08营 姓名：彭小建 学号要：对现代超精密加工技术的发展现状、地位以及在相关领域的应用进行了论述。并对超精密加工设备以及误差补?偿技术方面也作了阐述。超精密加工技术的概念、发展及面临的任务，和在各领域中的应用。我国目前已是一个“制造大国”，制造业规模名列世界第四位，仅次于美国、日本和德国，近年来在精密加工技术和精密机床设备制造方面也取得了不小进展。但我国还不是一个“制造强国”，与发达国外相比仍有较大差距。目前国外已开发了多种精密和超精密车削、磨削、抛光等精密,机床,加工,金刚石,晶体。超精密加工技术，是现代机械制造业最主要的发展方向之一。在提高机电产品的性能、质量和发展高新技术中起着至关重要的作用，并且已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。? 超精密加工是指亚微米级(尺寸误差为0.3～0.03μ;m，表面粗糙度为Ra0.03～0.005μ;m)和纳米级(精度误差为0.03μ;m，表面粗糙度小于?Ra0.005μ;m)?精度的加工。实现这些加工所采取的工艺方法和技术措施，则称为超精加工技术。加之测量技术、环境保障和材料等问题，人们把这种技术总称为超精工程。超精密加工主要包括三个领域：? 超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。它已成功地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路基片的加工。超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀的方法加工，线宽可达0.1μ;m。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工，线宽可达2～5nm。超精密加工技术的发展和应用在世界领域有着至关重要的作用。世界各地的机械领域对此再做进一步的研究与发展。?超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法，具有很多其他传统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展，展望了其在微光学元件加工中的应用潜力。Discussed?the?development,status?and?application?in?the?correlative?field?of?the modern?ultraprecise?machining?technique?under?summing?up?a?mass?of?domestic?and foreign?data.It?has?also?discussed?the?machining?mechanics?and?the?possible?machining?equipments?and?the?error?compensation?technique?about?the?ultraprecise?machining?technique. Ultra-precision processing technology of the concepts, development and faced task, and the application in all fields. At present in China is already a manufacturing power, manufacturing scale is the fourth, behind the United States, Japan and Germany, in recent years in precision machining technology and precision machine tool equipment manufacturing have achieved considerable progress. But China is still not a manufacturing power compared with developed abroad, still have a large gap. At present abroad has developed a variety of precision and ultra-precision turning, grinding, polishing and other precision, machine tool, processing, diamond crystals. Ultra-precision processing technology, modern machinery manufacturing industry