第5章_压电式传感器1.pptVIP

电气式压力传感器 压电式压力传感器 正压电效应和逆压电效应统称为压电效应，压电效应是可逆的。  6. 压电式传感器的应用 压电式传感器可用于力、压力、速度、加速度、振动等许多非电量的测量，可做成力传感器、压力传感器、振动传感器等。 6.1 5100系列压电式力传感器 航天702所研制生产的5100系列力传感器，是一种利用石英晶体的纵向压电效应将力转换成电荷，并通过二次仪表转换成电压的压电式力传感器。 它具有气密性好、硬度高、刚度大、动态响应快等优点。 目前，5110、5112、5114和5115力传感器已组成各种锤头（钢、铝、尼龙、橡胶）型测力锤，可以测量动态力、准静态力和冲击力。 5100系列外形图 * * * * 压电式传感器是一种电量型传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力的作用下，电介质的表面会产生电荷，从而实现力—电荷的转换。常用来测量压力、应力、加速度等。 1. 工作原理 压电式压力传感器是基于某些电介质的压电效应原理制成的。某些电介质物质，在沿着一定方向上受到外力的作用而变形时，内部会产生极化现象，同时在它的两个表面上产生极性相反的电荷；当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，这种将机械能转化为电能的现象称为正压电效应。 相反地，在电介质物质的极化方向上施加电场，它会产生机械变形，当去掉外加电场时，电介质的变形也随之消失，这种将电能转化为机械能的现象称为逆压电效应。 1.1 压电效应 石英晶体 石英晶体是最常用的压电晶体。它有三个互相垂直的晶轴：z轴为光轴，没有压电效应；x轴为电轴；y轴为机械轴。 石英晶体的压电效应 为了使压电陶瓷具有压电效应，必须进行极化处理。 极化处理：在一定温度下对压电陶瓷施加强电场，电畴的极化方向发生转动，趋向于外电场的方向，这个方向就是压电陶瓷的极化方向。（100~170℃，20~30KV/cm直流电场） 压电陶瓷的极化过程和铁磁物质的磁化过程非常相似。经过极化处理后的压电陶瓷在外界电场去除后，其内部仍会存在着很强的剩余极化强度。当压电陶瓷受到外力作用时，电畴的界限发生移动，因此，剩余极化强度将发生变化，压电陶瓷将出现压电效应。 当石英晶体切片受到沿x轴方向的压缩应力σx作用时，晶片将产生厚度变形，并产生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，垂直于x轴表面上产生的极化强度Px与应力σx成正比，即： 1.2 石英晶体的压电常数和表面电荷的计算 图5.3 石英晶体切片 极化强度Px等于晶片表面的电荷密度： 所以， 可见，当晶片受到x轴方向压力时，qx与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。电荷极性如图5.4所示。 图5.4 石英晶片上电荷极性与受力方向的关系 当同一晶片受到沿y轴(机械轴)的作用力Fy时，电荷仍出现在垂直于x轴的表面上，电荷大小为： 由于 ，所以： 在x轴方向施加压力时，石英晶体的x轴方向带正电。如果晶片在晶轴x方向受到拉力的作用，则仍在垂直于x轴表面上出现电荷，但极性相反。 负号表示沿y轴方向施加的压缩力产生的电荷与沿x轴方向施加的压缩力所产生的电荷极性相反。沿机械轴方向对晶片施加作用力时，产生的电荷量与晶片的几何尺寸有关。通过适当选择晶片的长度和厚度，可以增加产生的电荷量。 当石英晶体受到z轴(光轴)方向应力时，无论是压缩应力，还是拉伸应力，都不会产生电荷。 此外，压电晶体除了有纵向和横向压电效应外，在切向应力作用下也会产生电荷。 压电陶瓷是一种常见的压电材料，在被极化后才具有压电效应，并具有非常高的压电常数。 压电陶瓷的极化方向通常取z轴方向，当压电陶瓷受到z轴方向的力作用时，其极化面上出现正负电荷，其电荷量q与力F成正比，且满足： 1.3 压电陶瓷的压电常数和表面电荷的计算 压电陶瓷的压电系数d的意义与石英晶体相同，但其x轴和y轴是任意选取的，对于x轴和y轴的压电效应是等效的，下标1和2是可以互易的。 压电陶瓷一般除了厚度变形、长度变形和剪切变形外，还可以利用体积变形来获得压电效应。 2. 压电材料 压电材料可以分为压电晶体和压电陶瓷两大类。压电晶体为单晶体，压电陶瓷属于多晶体。压电材料的选取一般应从以下特性进行选择： 具有较大的压电常数。 压电元件的机械强度高、刚度大，有较高的固有振动频率。 具有高的电阻率和较大的介电常数，以期减少电荷的泄漏以及外部分布电容的影响。 具有较高的居里点。所谓居里点是指压电性能破坏时的温度转变点。居里点高可以得到较宽的工作温度范围。 压电材料的压电特性不随时间蜕变，具有较好的时间稳定性。 2.1 压电晶体 压电晶体的种类很多，常用的有以下几种： （1）石英晶体 石英晶体有天然和人工培养两种类型。人工培养的石英晶体的物理和化学性质几乎与天然石英晶体无多大区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。它在