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扫描电子显微镜基础 黄 锐 2007.10.29. Outline 扫描电镜 光学显微镜与扫描电镜 — OM SEM 扫描电镜的特点 — Features of SEM 扫描电镜的原理 — Mechanism of SEM 扫描电镜的样品制备 — Preparation of samples 扫描电镜与法庭化学 — SEM Forensic science 能谱仪 History the microscope What is SEM? SEM — — 主要是利用样品表面产生的二次电子成像来对物质的表面结构进行研究，是探索微观世界的有力工具。 History of SEM OM SEM comparison Pictures of SEM Pictures of SEM Features of SEM Features of SEM Features of SEM Features of SEM Preparation of samples SEM Forensic science SEM Forensic science SEM Forensic science SEM Forensic science SEM Forensic science 扫描电镜能谱仪在涉枪案件中应用的研究, 山东公安丛刊, 1996, 3: 57-58 微量金属物证的扫描电镜X射线能谱检验,刑事技术, 1997, 4: 16-17 扫描电镜能谱仪在锁具检验中应用的研究,刑事技术, 1999, 5: 25-26 导线物证的扫描电镜及能谱鉴定方法, 理化检验, 2002, 38(5): 222-223 人发的扫描电镜观察及微量元素特征人发的扫描电镜观察及微量元素特征，电子显微学报，2003, 22(6): 480-481 火灾事故鉴定的扫描电镜研究, 电子显微学报, 2003, 22(6): 636-636 扫描电镜-能谱仪在毒物检验中的应用, 刑事技术, 2007, 2: 32-33 …… …… — — 能谱仪 — — 能谱仪 — —原理 — — example — — example The end  Thanks 2007.11.05. * * Scanning Electron Microscope Optical Microscope Scan Electron Microscope 1935： 法国的卡诺尔提出扫描电镜的设计思想和工作原理。 1942： 剑桥大学的马伦首次制成世界第一台扫描电镜。 反射电子 电子束在试样上作光栅状扫描 电子束 SEM 反射光/投射光 光束在试样上以静止方式投射 可见光 OM 成像信息 照射方式 照明源 显微镜类型 ● 注射针头的扫描电镜照片 果蝇： 不同倍率的扫描电镜照片 高分辨率 强立体感 广泛的放大倍率 应用范围广 ● ● ● 分析处理 显示并转换为数据 X-射线探测器 探测X射线信号并转换为电信号 脉冲处理器 测量电子信号并确定所接收到X射线的能量 EDS - Energy Dispersive Spectrometry SEM 7kV Au Cu Al C SiO 2 Si 20kV Au Cu Al C SiO 2 Si * * * * *