课件：太阳电池工艺.pptxVIP

太阳能电池工艺目录一：前言二：太阳电池的结构三：太阳电池片的生产工艺流程前言发展现状 全球太阳能电池产业在1994—2004年里增长了17倍，近五年平均年增长率超过50%。目前，太阳能电池市场竞争激烈，欧洲和日本领先的格局已被打破。尽管主要销售市场在欧洲，但太阳能电池的生产重镇已经转移到亚洲。自2007年，中国内地和中国台湾分别成为太阳能电池世界第一和四大生产地。现阶段，中国内地和中国台湾太阳能电池产业已经能够占到全球产量的60%左右。 前言太阳电池的历史1839年法国实验物理学家贝克勒儿发现了光生伏特效应1941年奥尔在硅上发现了光伏效应1954年恰宾和卡尔松等人在贝尔实验室制成了光电转换效率达6%的世界上第一块实用硅太阳电池，标志着太阳电池研制工作的重大进展1959年第一个光电转换效率5%的多晶硅太阳电池问世1960年硅太阳电池发电首次并入常规电网1975年美国科学家制作出非晶硅太阳电池80年代初，太阳电池开始规模化生产前言太阳电池按材料分类太阳电池—将太阳能直接转换为电能的半导体器件 ★ 种类★硅太阳电池 1） 硅太阳电池1）单晶硅电池 2） 化合物太阳电池2）多晶硅电池 3） 染料敏化电池3 ) 非晶硅薄膜电池 4） 硒光电池4）多晶硅薄膜电池前言光生伏特效应：是指半导体在受到光照射时产生电动势的现象。化合物太阳电池：化合物半导体太阳能电池，是发电元件(电池单元)的半导体材料不使用硅、而是使用多种物质的太阳能电池。染料敏化电池：主要是模仿光合作用原理，研制出来的一种新型太阳电池，其主要优势是：原材料丰富、成本低、工艺技术相对简单，在大面积工业化生产中具有较大的优势，同时所有原材料和生产工艺都是无毒、无污染的，部分材料可以得到充分的回收，对保护人类环境具有重要的意义。太阳电池的结构单晶与多晶硅片单晶和多晶硅片的生产工艺不一，多晶是正方的，单晶硅片的四个角是有弧度的，准方片 对于成品电池更好区分： 单晶电池表面状态均一，而多晶表面有花纹。 尺寸（mm）：103×103, 125×125，150×150,156×156太阳电池的结构单晶硅多晶硅太阳电池的结构多晶硅电池太阳电池的结构太阳电池的工作过程 —光生伏特效应吸收光子，产生电子空 穴对电子空穴对被内建电场 分离，在PN结两端产生电势将PN结用导线连接，形成电流 在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换太阳能电池片的生产工艺流程太阳能电池片的生产工艺流程制绒扩散等离子刻蚀丝网印刷PECVD去磷硅玻璃烧结测试分选组件太阳能电池片的生产工艺流程制绒单晶： 制绒：NaOH、Na2SiO3、IPA（异丙醇） 清洗：HCl、FH多晶： 制绒： HNO3、HF 清洗： HCI 、 HF制绒的作用：减少光的反射太阳能电池片的生产工艺流程制绒原理Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑Si+HNO3+HF→H2[SiF6]+NO2↑+H2OIPA：消泡剂Na2SiO3：控制反应速度HCl：氯离子能与Pt2+ 、 Au3+ 、Ag+ 、 Cu+ 、Cd2+ 、Hg2+ 等金属离子形成可溶于水的络合物，达到去除硅片表面的金属离子的作用。HF：去除硅片表面的硅酸钠和氧化物 SiO2+6HF→H2[SiF6]+H2O太阳能电池片的生产工艺流程扩散扩散的目的：形成P-N结（在P型半导体表面参杂五价元素磷在硅表面形成P-N结）扩散装置示意图：太阳能电池片的生产工艺流程扩散原理POCl3在高温下（＞600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），有充足的氧气时，其反应式如下：POCl3+O2→P2O5+Cl2生成的五氧化二磷在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅和磷原子，反应式如下：2P2O5+5Si=5SiO2+4P↓太阳能电池片的生产工艺流程等离子刻蚀目的：去除边缘PN结，防止上下短路等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。太阳能电池片的生产工艺流程去磷硅玻璃磷硅玻璃：扩散过程中在硅片表面形成的一层含有磷元素的SiO2称之为磷硅玻璃氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四氟化硅气体。SiO2+4HF→SiF4↑+2H2O若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络合物六氟硅酸。SiF4+2HF→H2[SiF6]总反应式：SiO2+6HF→H2[SiF6]2H2O太阳能电池片的生产工艺流程PECVDPECVD:又称等离子增强化学气相沉积。它是借助微波使气体（硅烷、氨气 ）电离，而在硅片上沉积薄膜（氮化硅）的一种方法。太阳能电池片的生产工艺流程在太阳电池表面沉积深蓝