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退火站匣砵改善与设计2014年6月5号第一批匣砵状况材质：Al2O3 规格：160mm*160mm*80mm内边长140mm，内高60mm 厚度10mm 优点：外壁粗糙，取放容易，散热型相对较好。二次使用性较高缺点：边缘4个角高度较低，仅为10mm，不能较好放置100pcs/个。对2寸晶片可产生较大的空间利用，但是对4寸晶片，有存在不必要的空间浪费。图1-1第二批匣砵状况材质：Al2O3 规格 ：210mm* 130mm*80mm 内宽120mm，内高75mm 厚度5mm 内长200mm优点：可装载量较大缺点：散热性严重不足，易开裂。外壁光滑，对取放造成困难，且底部有下凸状，所以导致无法正常放置原本设计的平行放置（如图1-3所示俯视图）图1-2100mm图1-3新匣砵设计构想长度方面：针对4寸晶片从平边到圆心再穿过半径的长度为100mm，则仍采用第一批匣砵，只是规格进行如下改动，内长以110+2个厚度10mm=130mm（第一批规格为160mm），如此一层刚好可摆放520/130=4个匣砵，比之前的摆放每一层可多摆放一个。高度方面：因每片4寸晶片平均厚度为695±5μm，当摆放100pcs时，厚度可达70.8-71.4mm（上下均有垫片时），所以内高60mm+厚度10mm=70mm70.8mm，所以可考虑新匣砵四个角的高度再增加10mm，这样每个匣砵高度为60mm+20m