毕业论文翻译：金刚石刀具表面涂层厚度研究.docx

铂涂层在聚焦离子束金刚石切削刀具铣削加工的厚度方面和去除铂层的方法的研究摘要：近年来，纳米加工在先进制造科学和技术领域受到了越来越多的关注，作为一个控制材料结构、成分、设备和纳米系统的增值过程。在这些产品上运用亚微米模式，微纳米级单晶金刚石切削刀具是必不可少的。最广泛的非接触的金刚石复合材料宏/微观处理方式是激光脉冲烧蚀（PLA）和电火花加工（EDM）。然而，在金刚石刀具加工方面，这些机械加工方法是不适用的。尽管金刚石极端的物理属性，金刚石也能够用聚焦离子束（FIB）技术相对简单的加工。在FIB铣削加工中，金刚石切削刀具的表面性质是被由FIB镓离子束的碰撞和移植所导致的无定形的损伤表面影响的，而且这些影响了金刚石切削刀具的边缘锋利度，增加了处理程序。为了保护金刚石衬底，在金刚石FIB铣削中，一个铂（Pt）涂层是必不可少的。在这个课题中，在FIB制造中能够减少过程性损伤的铂涂层的厚度还有去除金刚石刀具的表面铂层的方法将被研究。最优的铂涂层厚度已经被证实了，这对维持刀具边缘锋利程度，减少处理过程意义重大。超精密的磨削方法和王水腐蚀方法已经被研究出来去除铂涂层。实验结果表明，当金刚石刀具的宽度超过500纳米的时候，超精密的磨削方法对于去除金刚石刀具的铂层是适当的。但是超精密磨削不适用于金刚石刀具宽度低于500纳米的情况，因为磨削造成的金刚石刀具损伤的可能性会提高。尽管王水腐蚀法在去除刀具