Scrubber 评估重点.doc

Scrubber 評估重點 依Gas 種類先評估使用Type wet/burn/ thermal 評估Process Gas 處理能力 例如下表 Gas Kind Maker 代理商 Gas1 % 99% 95% 95% 99% Gas2 % 99% 90% 90% 99% Gas3 % 99% 99% 90% 99% 安全裝置之評估 例如下表 最好有安全單位認證..semi-s2 or 工研院..GE.等 item Maker 代理商 評價 1. Backfire 回火 interlock 2. By-pass Function 3. Leakage Detector O2 sensor 4. Extinguish Interlock UV 5. LNG/LPG Exchanger 6. LNG/LPG Detector 7. Facility Pressure Low 8. Fuel Pressure Low 9. Reactor high temp. 10. Reactor low temp. 11. Miss Fire UV 12. Blower Trip 電流、溫度 13. N2 Pressure Low 14. CDA Pressure Low 15. UV sensor Abnormal 16. Exhaust High Temp. 17. CO2 splinker 4. Gas 流量及處理流量之評估 例如下表 Layer I CHAMBER Gas Kind Flow Rate sccm Use Time Usage/pcs Efficiency Gas1 By Process Recipe TLV1000ppm Gas2 99% Gas3 99% Gas4 99% Gas5 一 Chamber 流量 By Scrubber docking chamber Qty. 　 三 Chamber 流量 總 system 流量 含pump N2流量 要考慮Pump 運轉時的N2流量 　 單一Chmaber 進行抽真空所需容量 1. PC部分 Chamber 容積 / ? sec 大氣到2000mT的時間 L / min 2. TMP N2 purge的部分：? L / min 3. DP N2 purge的部分? L / min 評估基本資料及scrubber的Cap.可容許chamber及處理量及 如下表 Item Maker 代理商 Technical Data Max. Capacity Lpm Max. Inlet Port Qty Max. Working Temperature ℃ Leak Detector Dimension L*W*H mm Weight kg 評估廠商Service 能力 item Maker 代理商 得分 Servicesupport Parts Stock Qty in Taiwan Arrived Arrived Arrived Service Center in Tainan Qty of Engineer in Tainan Service Center 24-Hour On-call COO 比較 Running cost NT/Year Maker 代理商 Initial cost Electrical Power  Phase/Hz/KW RW L/min PCW L/min - CDA L/min - GN2 L/min O2 L/min CH4 L/min First Year running cost × 3台 Five Year running cost × 3台 Average cost for Five Year MTTR/MTBF比較 Backup function 及其他功能比較 價格及保固條件分析