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化学水浴法（CBD）制备ZnS Outline 一、ZnS简介 1.1 ZnS 特点： 1、Ⅱ-Ⅵ族宽禁带直接带隙半导体 2、带隙宽度为3.2-3.6eV 3、ZnS晶体分为立方晶系和六角晶系。 4、良好的荧光性能 5、良好的透光性能 1.2 ZnS 薄膜应用： 激光二极管、电致发光器件、电光调制器、光学镀膜材料、光电导体及光伏器件等；作为薄膜太阳能电池缓冲层也展示了其良好的应用前景。 1.3 ZnS薄膜的制备方法 溅射法( Sputtering) 原子层沉积法(Atomic layer deposition ,ALD ) 热蒸发法( Thermal evaporation) 分子束外延生长法(Molecular beam epitaxy ,MBE) 电沉积法( Elect rodeposition ,ED) 脉冲激光沉积法( Pulsed laser deposition , PLD ) 化学水浴法( Chemical bath deposition CBD) 四、结论 尽管CBD制备ZnS薄膜有诸多优势，但仍存在诸多的问题： 缺陷: 1、沉积过程ion-by-ion机制难以控制 2、原材料利用率很低 3、废液处理困难 4、存在Zn(OH)2或ZnO杂相 参考文献: 1.Chemical bath-deposited ZnS thin films: Preparation and characterization Applied Surface Science 254 (2008) 5711–5714 2.Developing an understanding of the processes controlling the chemical bath deposition of ZnS and CdS J. Mater. Chem (1998) 3. Effect of [Zn]/[S] ratios on the properties of chemical bath deposited zinc sulfide thin films Applied Surface Science 257 (2010) 122–126 4.Effect of pH on the characteristics of nanocrystalline ZnS thin films prepared by CBD method in acidic medium Current Applied Physics 10 (2010) S473–S477 5.化学浴沉积法制备ZnS薄膜的研究 华中科技大学 (2006) 6.化学水浴制备ZnS薄膜的研究 南昌大学 硕士学位论文(2006) 7.铜铟镓硒薄膜太阳能带电池关键 材料与原理型器件制备与研究 中科大 博士论文 （2008） Department of Materials Science and Engineering University of Science and Technology of China Department of Materials Science and Engineering Applying Materials Innovation to Energy and Environmental Problems... ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? * * Group 程位任、邾强强 members 张 帆、党军杰 Reporter 孔令军 Group NO.6 Dec.22.2010 结论 CBD方法简介 CBD制备ZnS过程 1 2 3 4 ZnS简介 二、化学水浴法（CBD）简介 加热磁力搅拌器 水浴锅（大烧杯） 反应容器（小烧杯） 化学浴装置图 基本构造 2.1 CBD装置图示 支架 温度计 搅拌子（磁子） 2.2 CBD工艺流程图 金属盐 硫源 NH3 衬底材料 混合溶液 均匀薄膜 清洗，垂直放入 络合剂+PH值调节剂 替代氨水 搅拌、恒温水浴 生产成本