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AOIH IntroductionFPI-6XXX 报告人：李波 组 别：Photo/Track ID NO.:C0609080 OUT LINE Overview Features of AOIH FAB 内AOIH 布局 5 basic sections of FPI-6XXX series Machine Components Principle of defect detection Operation flow of FPI-6XXX series Overview What is AOIH? Automatic Optical Inspection system High 即高精度自动光学检测机 What is the Function of AOIH? Detecting defects of flat panel display 自动检测基板在制造过程中造成的各种缺陷 Type of Defect: short,open,particle and so on Features of AOIH 配备有多个CCD Camera 和一个高速的自动装载机器手臂，使其效率是普通检测系统的四倍。 Auto defect classification and defect analysis. 可以对玻璃上的缺陷进行自动分类与分析. 3. 配备具有很强的放大能力及很强分辨率的显微镜，从而取消了额外的显微镜来review defect. 4. 最小检测精度为3um.检测速度为5m/piece FAB内AOIH布局 共四台AOIH机台，在FAB内的分布如下： AOH020 Stocker11 北面 AOH030 Stocker4 北面 AOH050 Stocker7 北面 AOH060 Stocker16 北面 Machine Components （Front） Machine Components （back） 5 basic sections of FPI-6XXX series 1,user interface : main monitor,keybord,mouse, joystick. 2,X-Y-θ Stage: 支撑玻璃基板的平台，通过X-Y Stage的左右运动来检测玻璃 的不同区域 ;通过θ Stage的运动来调整玻璃的初始位置，对 准Ｍark. 3,optical system: lighting,half-mirrors,lenses,image sensor ,auto-focusing control unit 4,High-speed real-time image processing computer: DPLL把扫描到的模拟信号转换为数字信号传入该电脑，并通 过相临像素单元亮度的对比来判断defect,并且对defect 进行 分析并列出defect信息祥单（例如坐标，尺寸等）． 5,Automatic glass panel carrier unit: 一个自动搬运玻璃的机器手臂． Principle of defect detection Repetivite pattern comparison method Comparison pitch Operation flow of FPI-6XXX series Comprise three steps 1,setup 设置检测的项目参数,如扫描区域,检测精度等这个过程叫 setup.同一过程同种类型的玻璃只需要设置一次就可以了. 2,inspect Check glass panels for defects.the defects can be reviewed by a microscope.at last a defect file will be created 3,retrive An option for closer review of defect. Inspect 检测的步骤： 1 将Cassette装载到FPI6590。 2 选择检测Job（设置好的参数文件） 3 输入Lot的名称 4 装载基板到Stage 5 自动位置的效准（θ方向的补偿） 6 检测扫描基板 7 自动对比 8 执行一些可选项的操作（DPCL/DCS/IDBS） 9 Defect的回顾 10 创建Defect文件 11 将检测过的基板取出储存到Cassette中 12 抽检完Cassette