图8-28 热导式集成流速传感器 (a) 芯片分布图; (b) 芯片内部电路 8.2.3 流量测量仪表的选用 1. 流量测量仪表的发展趋势 近年来,过去应用最广泛的节流装置(占流量测量仪表的70%以上)生产量正逐年下降。例如,日本1981年节流装置只占流量测量仪表的38%。 仪表测量精确度有所提高。如电磁流量计的精确度过去只有1.5级,现已提高到0.5级。 微机用于测量仪表,即仪表智能化。其优点为:使仪表性能稳定, 精确度提高,功能增强(如用于数据处理,自动去掉疏失误差, 求平均值, 求均方差等),自动选择计量单位, 自动改变量程(如有的可以改变四个量程,有的可以自动设定量程),进行各种修正运算(如气体温度、压力变化对气体流量的修正),自诊断功能等等。现已生产的带微机的流量计有转子流量计、涡轮流量计、超声流量计、激光流速计等。 各种特殊情况下的流量测量仪表发展很快, 如用于两相介质(气固、 液固、 液气), 高温, 高压下的流量测量仪表。 2) 容积式流量测量原理 容积式流量传感器是根据已知容积的容室在单位时间内所排出流体的次数来测量流体的瞬时流量和总量的。 常用的容积式流量传感器有椭圆齿轮式、 旋转活塞式和刮板式等。 3) 质量式流量测量原理 质量式流量传感器有两种,一种是根据质量流量与体积流量的关系, 测
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