前后清洗故障排除方法案例.docx

前后清洗的常见故障及解决措施温馨提示：大家以后有空把前后清洗常见的故障记录在这里面，可以互相学习探讨！如有补充或修改的可以更改，也可以留下未解决的问题共同探讨！Rinse1\2\3槽流量过低1、风刀堵塞：通风刀；2、滤芯堵塞（附着结晶盐）：冲洗滤芯，严重堵塞时更换新滤芯3、碱槽喷淋过大、碱槽风刀堵塞4、电机是否正常工作HF\HNO3Fellbellowminimumflow原因\措施：1、酸槽溢流口被碎片堵塞：吸碎片；2、溢流阀漏：更换溢流阀；3、溢流口有碎片；Convergor1\2\3driveerror原因\措施：1电机与该处滚轮的故障2误操作.滚轮速度超出范围HCLMediasupply1Levelforreplenishment（补加）notachieved原因\措施：HF\HCLSupplyLevelforremixnotachieved原因\措施：RinseAcidic1BathPretectionagainstdryrunning原因\措施：缺少水：加水Rinse1\2\3Timeoutfilling原因\措施：加水时间不够：继续添加水CoolingunitLevelnotOK原因\措施：液位达不到，手动补水，810/18出料时硅片有细小水珠：原因\措施：1、调整风刀大小或其角度；2、HF酸药过少：添加HF酸；3、风刀部分堵塞如何判断滚轮是坏的【滚轮的下边缘与滚轮轴有一定的间隙】1、滚轮上下滚动幅度较大；2、上滚轮轴相对下滚轮轴转动左右摆动；3、滚轮接触Wafer时向上动作幅度不明显连续误报警叠片，报警不消失1、 检查感应进出料的传感器的灵敏度（机器进出料口侧面下方），调整其灵敏度（正常情况下是小指示灯{8个}红绿交替）。2、 拧松或拧紧机器上放的报警指示灯（红→黄→绿），直至显示绿灯亮为止如何减少碎片【就Rena机器而言】1、 保持所有上滚轮、下滚轮各自水平且互相平行【做PM时调水平】；2、 保持上下滚轮的O-Ring圈良好接触；3、 滚轮滚动时其滚轮中心轴应在一条直线上【观察时可以其他参照物进行参照】；4、 滚轮轴应与滚轮内侧下边缘保持一定的间隙；5、 定期固定滚轮轴；6、 调节喷淋、通风、喷药时其角度和流量的速度，切勿过大；7、 齿轮箱磨损8.O-Ring是否磨损叠片的可能原因：1、 Exhuast排风速度强；2、 风刀、喷淋速度快；3、滚轮不水平；4、挡板处滚轮支架磨损，挡板相对变高刻蚀槽电机泵转速慢，打药打不上来检查变频器电压、电机三相、PLC开复机（Copy程序）做W156片后换W125片时有大量叠片，竟检查在酸槽中有一滚轮错装，离喷淋隔了一根，使得滚轮与喷淋间隙增大，跑片时无滚轮压而受水流影响打漂，致使其歪片，换装到喷淋管旁边时，跑片正常。制绒槽HNO3\HF流量低（泵正常运转，流量计显示流量为零）等片子在制绒槽中出来时，对制绒槽单独打成手动状态，Manual→Stop→Draningbath→Fillingbath，直到流量计显示直到显示数字，然后打成自动状态Atuomation。做厚200的硅片时有大量碎片，经检查，在一滚轮处，发现滚轮滚动缓慢，与齿轮咬合过松，调整滚轮与齿轮的松紧度，跑片正常。出现脏片可能原因：1、碱槽药液浓度低；2、滴定阀损坏 3.冷却水管破裂,冷缺水进入溶液,使药液浓度变低措施：1手动补加药液2停机截取破裂的水管CoolingunitNotready原因：Level液位低ProcesscleanairdeyersnotOKLostcommunicationtoPLCHNO3Mediasupply1DosagetankTimeoutfilling检查楼下加药处的传感器是否正常工作Rinse1槽排水时间过长1、 Rinse1排水口被碎片堵塞；2、 传感器位置过低；3、传感器过脏,影响灵密度碱槽有大量结晶盐1、 rinse1风刀压力过小，无法吹干片子，导致酸性的rinse1溶液进入碱槽2、 rinse1喷淋角度和喷淋大小存在问题，尤其是下喷淋若开的过大会溅入碱槽制绒槽与rinse1之间风刀处叠片，发现风刀与其支架在四五道之间有间隙，风刀位置相对较高，硅片过不去，微调高风刀前一滚轮（在其滚轮在塞一软绵垫后，跑片正常。误按急停按钮措施使急停按钮恢复常态，打开操作界面的按钮【ON】，