半导体甩干机操作规范.docVIP

甩干机操作规范 兼职广告任务网 文件代码： SNS-WI-S2-501 编写人员： 晏小平 审核人员： 批准人员: 保密等级： 分发 部门 总经办 管代 行 政部 人力 资源 部 生产一部 生产二部 生产三部 品检部 研发部 市场 营销部 采购部 财务部 项目部 动力 保障部 文控中心 档案室 分发 范围 分发 份数 1、目的：规范甩干机正确安全操作，保证安全生产。 2、设备操作和使用 1 设备操作说明 A:严禁用紫外线照射液晶屏幕； B:每次关机后重新启动的时间间隔应大于1分钟； C:操作中用力要适中，不可用力过大，以免损伤本机屏幕； 3、操作流程图如下： 4、标准操作程序 A:通气源、水源、调节各参数以确保氮气压力 清洗机在80±5psi,甩干机在40±5psi内 B:打开本机电源，系统自动进入设备初始界面 C:进行参数设置 D:将需旋干之晶片装在甩干机专用卡塞中，并置于甩干机工作腔体内， E:按动启动按钮，开始工作 F:一次工作结束后按返回键客返回编辑状态，按启动按钮，重新开始工作。 5、注意事项 1）设备运行时，腔体内必须放卡塞,否则由于平衡破坏造成设备损坏或精度降低 2）晶片必须均匀放置在卡塞内，尽量保证首尾重力平衡 3）卡塞放置在腔体内时，片子正面应朝向观察窗一侧 4）设备运行中不得试图打开密封门盖，否则会造成人体伤害或机器损坏 5）关机重启后，时间间隔1分