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椭偏仪的应用 光电信息工程二班 椭偏仪 椭偏仪是一种利用偏振光通过测量被测样品反射 或透射 光线偏振状态的变化获得薄膜厚度或界面参量的仪器。 特点：非接触性、测量精度高和非破坏性, 能同时测定薄膜厚度和光学常数, 可测量多层薄膜, 并且适合测量的膜厚范围广。 椭偏仪的原理 自然光经过起偏器和λ/4波片变为椭圆偏振光，经样片反射后一般仍为椭圆偏振光，入射到样片上的椭圆偏振光经样品反射，使出射光的偏振态发生变化。如果在入射光两分量中引进相位差，使得从样品反射的反射光被补偿成线偏振光，再通过调节检偏器的透光轴方向可以达到消光，这就是最早制作的消光性椭圆偏振仪的原理。由所知道的起偏器和检偏器的角度 和 ，求出椭圆参量ψ和δ，即可由关系式求出薄膜的光学常数。 用薄膜的椭圆函数ρ表示薄膜反射线形成椭圆偏振光的特性,即 椭偏仪 椭偏仪分类 光度椭偏仪 光度式椭偏仪与消光式椭偏仪原理相近，只是前者对探测器接收到的光强进行傅里叶分析, 再从傅里叶系数推导得出椭偏参量。 光谱椭偏仪 由于材料的光学常数是入射光波长的函数, 为了精确测定光学常数随入射波长的变化关系, 得到多组椭偏参量, 椭偏仪从单波长测量向多波长的光谱测量发展，故又出现了光谱椭偏仪，而光谱椭偏仪主要是利用光栅单色仪产生可变波长，利用法拉盒自补偿技术制成光谱椭偏仪。 成像椭偏仪 传统椭偏仪和成像系统相结合，普通椭偏仪测量的薄膜厚度是探