光束诱导电流成像系统(LBIC)说明书资料.docxVIP

PAGE \* MERGEFORMAT16 中国科学院半导体研究所 光束诱导电流成像检测系统（LBIC-301A） Light-Beam Induced Current—LBIC mapping system LBIC扫描系统 说明书 地址：北京市海淀区清华东路甲35号中国科学院半导体研究所1号楼 电话：（+86）-010/ 传真：（+86）-010-8230-4181 邮箱： HYPERLINK mailto:pdhan@ pdhan@ 网址：/peidegroup/ 一、产品描述： 1.1 产品简介： 仪器名称：光束诱导电流成像检测系统（Light-Beam Induced Current—LBIC—mapping system） 仪器型号：LBIC—301A 生产单位：中国科学院半导体研究所 仪器简介：光束诱导电流成像检测系统（Light-Beam Induced Current—LBIC— mapping system）是一种高分辨、非直接接触的图象分析手段，通过不同激光波长的在半导体中的吸收距离和微区光电转换，可以表征光电子器件及太阳能电池微区的短路电流分布、表层缺陷、并联电阻、反射率等特性参数，并通过横向扫描（Mapping）形成图像，以反应各种参数的平面均匀性，尤其是晶界和位错分布，为光电子器件及太阳能电池的结构优化