付俊兴-开题报告详解.ppt

* * 微结构耦合薄膜的制备及摩擦学特性研究 姓 名： 付俊兴 指导老师： 周飞教授 日 期： 2011.12.8 一、选题依据 角度 尺寸 形貌 方向 高温熔融精度低 曲面应用有限高清洁度和工艺技术要求 环境污染稳定性差 Influence of hydrogen on the mechanical properties and microstructure of DLC films synthesized by r.f.-PECVD ——Jiong-Shiun H/Vacuum(2007) 二、国内外研究现状 图1 不同气源比对DLC膜硬度和弹性模量影响 图2 不同气源比对DLC膜表面粗糙度影响 图3 不同掺杂DLC膜抗磨损能力 Characteristics and tribological properties in waterof Si-DLC coatings ——Xingyang Wu,Ma/Diamond and Related Materials/2007 图4 不同掺杂DLC膜摩擦系数 图5 四种表面镀覆DLC的微结构 (a)垂直;(b)平行;(c)微坑(d)凸起 Micro-texture at the coated tool face for high performance cutting ——Toshiyuki Obikawa et al. /  International Journal of Machine Tools Manufacture (2011) 图6 面积比对摩擦系数的影响 Improved Tribological Behavior of DLC Films Under WaterLubrication by Surface Texturing ——Qi Ding et al. / Tribol Lett (2011) 图7 磨损率随面积比变化关系图 Tribological behavior of patterned PVD TiN coatings on M2 steel ——H.Y. Ma et al. / Tribol Lett (2004) 图8 掩膜板设计简图 Patterned PVD TiN spot coatings on M2 steel Tribological behaviors under different sliding  ——M. Hua et al. / WEAR (2006) 图9 对磨销磨损率随滑移速度关系 图10 对磨盘磨损率随滑移速度关系 三、课题研究方案 1、研究目标与内容 本研究致力于： 1.确定薄膜制备的最优工艺参数及各参数对薄膜特性的影响。 2.揭示不同薄膜种类、沉积参数和试验环境下摩擦副摩擦磨损特性。 3.优化微结构耦合薄膜制备工艺。 4.探索微结构耦合薄膜的水润滑磨损机制。 2、具体方案 基材准备 薄膜制备 摩擦实验 拉 曼 光 谱 实 验 摩擦 表面 光学 显微 镜 X 射 线 能 谱 薄 膜 厚 度 测 试 环境 载荷 速度 摩擦 表面 扫面 电镜 分析 摩擦 表面 三维 形貌 分析 实验结果处理 论文 写作 磨屑 拉曼 及光 电子 能谱 掩膜板制备 种类 气源 偏压 膜厚 … 试样前处理 薄膜制备与性能表征 耐腐蚀试验 表 面 粗 糙 度 测 试 摩擦 表面 光学 显微 镜 薄 膜 物 相 分 析 薄 膜 硬 度 测 试 阻抗分析 极化分析 摩擦 表面 扫面 电镜 分析 摩擦 表面 三维 形貌 分析 试验结果后处理 TaN Ta-DLC Cr-DLC 摩擦试验 抛光 清洗 膜 面 结 合 力 测 试 四、研究基础 1.已具备的实验条件： 样片抛光机、超声波清洗机、金相显微镜、摩擦磨损试验机、磁控溅射镀膜设备等。 教研室往届工作下已经优化的织构参数和DLC、TiN等制备参数经验。 2.实验存在的困难： 磁控溅射镀膜工艺参数的选定，通过阅读文献和实践优化改进。 相关微结构耦合薄膜制备和摩擦实验研究数据较少，实验结果参考存在一定困难，需要在实验过程中主动探索和总结经验。 2012.2前：基材准备、掩膜板设计制作 2012.2-8：薄膜制备