薄膜与涂层的应用2题材.pptVIP

* * 1、摩擦、装饰、耐蚀领域 2、导电和电磁领域 3、光学领域 4、半导体、超导领域 5、其它 版权所有：陕西科技大学材料学院黄剑锋 1、薄膜在摩擦学、装饰、耐蚀领域的应用 1.1.1 低剪切强度的薄膜在减磨和耐磨方面的应用 [分子—机械摩擦理论] 相对运动的摩擦表面之间的接触实际上是通过表面上凸峰之间的接触来实现的。相互接触的固体表面的凸峰在外力的作用下，发生弹—塑性变形，一直持续到接触点的真实接触面积能承受载荷为止。在固体发生相对滑动时，摩擦力等于相互接触部分被剪切或挤压形变所需要的力加上为克服相互接触部分分子间引力所需要的力。 1.1 薄膜在摩擦学方面的应用 μ τ/P + μa μ—总摩擦系数 τ—接触点的平均剪切强度 P—接触压力 μa—分子吸引引起的摩擦系数 因此，在材料表面镀一层低剪切强度的薄膜后，就能使摩擦系数降低。从而提高耐磨性能。 [目前能降低摩擦系数的薄膜] 1）软金属薄膜：金、银、铝、铟、锡 2）合金和化合物薄膜：铜铅合金、金属硫化物、硒化物、 碲化物等 1.1.2 硬质膜在耐磨方面的应用 能用于硬质保护的各种化合物 1）氮化物 2）碳化物 3）氧化物 4）硼化物 TiN、 HfN 、ZrN、 TaN 、CrN、 VN 、NbN 、Si3N4 、AlN TiN-TiC 、 Ti,V N 、 Si,Al N 、 Si,Al N 、Fe4N TiC、 HfC 、ZrC、 TaC 、Cr3C2, Cr7C3, Cr23C6、 VC 、NbC 、SiC 、 TiC-TiN 、 Ti,V C 、 Si,Ti C 、 Fe,Mn 3C TiOx、 HfO2 、ZrO2、 Ta2O5 、Cr2O3、 V2O3 、SiO2 、Al2O3 TiC-TixOy TiB2、 HfB2 、ZrB2、 TaB2 、 VB 、NbB2 、WB 、MoB 镀和薄膜后模具和丝锥寿命的提高情况 1.2 薄膜在装饰方面的应用 一些金属化合物薄膜的颜色 [颜色的表示方法] 主波长（色调）、色饱和度（纯度）、明度 [金属装饰效果] 1）麦克斯韦三角形色度图表示法 红绿蓝三原色的刺激值来表示 r+g+b 1 2 CIEXYZ系统色度图 x-y颜色图 法 氧化铝薄膜的颜色 [变色、珠光与虹彩等薄膜装饰] 1.3 薄膜在耐蚀保护上的应用 为了防止腐蚀，通常采用电镀法，但是易产生“氢脆”和“镉脆”。 1）目前，在飞机工业中遇到的最大难题就是高强度钢的表面防腐问题。过去采用电镀镉层来处理，但随之而来的氢脆问题无法解决。最近，采用溅射法镀铝已成功解决了该问题。 2）为了提高化工设备使用性能，可在反应釜内衬上镀Ta、Nb、Cr、Mo、Al、Ir、Zr等金属薄膜。 2、薄膜在导电和电磁领域方面的应用 2.1 PTC和NTC薄膜 [PTC和NTC的导电原理] [常用的PTC与NTC薄膜] 1 PTC 2 NTC BaTiO3、SrTiO3、PbTiO3等 二元系统：CuO-MnO、CoO-MnO、NiO-MnO 三元系统：CuO-MnO-NiO 、 CuO-CoO-MnO、 CoO- NiO-MnO、 CuO-FeO-NiO、 CuO-FeO-CoO CdO-Sb2O3-WO3 CdO-SnO2-WO3 多元系统：将CuO、MnO、NiO、CoO、FeO等 与Li、 Mg、Ca、Sr、Ba、Al等的氧化物组成 2.2 透明导电薄膜 [透明导电薄膜特点] 具有良好的导电性和较高的可见光透过率，并具有很好的红外反射性。 [透明导电薄膜的分类] 1）金属薄膜：Au、Ag、Cu、Pb、Pt、Al、Cr、Rh等 2）半导体薄膜：In2O3、SnO2、Cd2SnO4、CdO等，其中 和薄膜是光电子学应用的不可缺少的材料。 [透明导电薄膜的应用] 平板显示器、太阳能电池、光开关、示波管、防红外膜、节能膜、选择透过膜 [透明导电薄膜的工艺控制] 膜厚：小于200?才能使其有较高的光透过率，一般 为30-150?为佳。 要加保护膜：先镀衬底（氧化硅）—由于太薄，易形成不连续膜 再镀金属膜 金属膜表面再镀面膜（氧化铝）—保护作用 2.3 集成电路方面的应用 [薄膜位置灵敏探测器] 原理：利用滑线变阻器的原理，可以移动中间滑动触点来进行分流或分压，若接触点为光线或放射线，则可以测量出光线或放射线所跟踪物体位置的微小变化。 Ia Io[ RL-Rx /RL] Ib Io Rx/RL Ia Io[ L-X /L] Ib Io X/L P1 Ia/Ib L/X-1 P2 Ia-Ib / Ia-Ib 1- 2X/L 位置信号P1 位置信号P2 可见P1与P2是与入射线强度无关的 [薄膜加热元件] 材料：镍-铬系合金薄膜或钽系合金薄膜，