玻璃的减薄技术及不良影响题材.ppt

21 其它不良 电阻超标 原因： 酸残留 End 22 Thanks * * LOGO 玻璃的减薄（Slimming） 工艺 . Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 2 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 蚀刻 激光 离子 4 稳流 渐开 减 薄 方 法 技术一：蚀刻 蚀刻工艺 以HF溶液作为蚀刻溶液 1.以固定流速 沿玻璃基材 垂直下流 2.蚀刻溶液依靠重力下流，蚀刻玻璃基材表面 。 5 Text in here 蚀刻 清洗 清洗 技术一：蚀刻 Slimming 6 减薄流程 7 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 技术二：真空激光减薄 8 所谓真空激光减薄技术, 是指利用激光器发 出的脉冲激光束聚焦成直径很小的光斑, 并 调节到适当的能量密度,对于处在真空环境 中的待减薄膜层进行高速扫描,使膜层汽化, 从而达到减薄膜层的目的。 技术二：真空激光减薄 9 系统原理： 激光束经过聚焦、偏转后, 经 由石英窗口, 照射放置在真空度为 10- 3 Pa 高真空环境中的待加工 晶片, 以实现对晶片表面银电极层 的激光减薄。 系统工作原理图如图。 技术二：真空激光减薄 10 优点： 1 可以实现对膜层的精确减薄, 且减薄后的膜层不存在性能漂移现象; 2 工作在真空环境下,膜层减薄过程中不会出现对膜层污染、氧化等问题,加之激光加工为非接触加工, 不会对膜层产生机械损伤; 3 利用激光移动灵活的特点, 可以实现快速的多片薄膜大面积的薄膜减薄。 技术三：离子减薄技术 11 两个离子枪 从真空室两侧插入 离子束以一定的 掠射角 连续可调 从样品的两侧轰击样品。 聚光灯从样品 背面照明 当样品出现微孔时 停止减薄。 1 2 3 4 纵向和横向控制好锡液流动 控制好玻璃液的温度 合理配置好拉边机进行双向拉薄 技术四：双向稳流拉薄法 12 关键点：围绕玻璃厚薄差和微观波纹度，在“ 稳” 字上采取有效的技术措施。 适用范围：超薄玻璃的生产。 13 技术五：逐级渐开拉薄法 1、是在试验的基础上建立起来的； 2、是在超薄浮法玻璃的实际生产当中, 通过参照普通浮法玻璃的拉薄方法, 对 原有的拉薄方法 强冷重热拉薄法、徐 冷拉薄法和双向展薄法 进行了试验探索； 3、其整板厚度、厚薄差、微观波纹度均能满 足用户的质量指标要求。 14 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 15 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 16 Slimming后划伤 Slimming前发生 轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 Human eye invisible Slimming 17 Slimming后划伤 Lift Pin 凹点 18 Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 19 Slimming后划伤 3.轮印 LOGO * *