电池制造的各工序的质量控制点ok要点.ppt

* * * *  电池制造质量控制点培训   目录 一、清洗制绒岗位质量控制 二、扩散岗位质量控制 三、刻蚀岗位质量控制 四、PECVD岗位质量控制 五、丝网岗位质量控制 * 清洗岗位质量控制点（1） 清洗间的质量控制点分为三个方面：来料检验，减薄量，绒面观察、表面状态。 一、经常出现的不良现象有: 1、 装片人员拆开每一小盒不检查硅片外观直接装片，异常不能及时发现制止 2、 插片时候，手套长时间使用而不更换 3、 减薄量不测或随便写数值，减薄量异常不能及时发现，导致 后续出现大量返工片或硅片偏薄。 4、 单晶制绒时候，只通过目视，不用显微镜看绒面，导致绒面不受 控制 5、吃饭时间交接不到位，槽体的化学品状况不清楚，导致绒面不受控制 6 、清洗后的在制品暴露在空气中时间过长 * 清洗岗位质量控制点（2） 二、上述现象中，工艺规程及相关规定中要求： 1、按检验要求（检查硅片边缘缺口、表面有无异常斑点、裂纹、有无明显的切割线及划痕等）， 2、单晶每插好100片更换一次性手套一次。 3、减薄量范围为：单晶125S ( 0.3g -0.4g)) 1）做单晶当制绒机刚换过液时，一般把减薄量控制在合