扩散工序基础知识培训-爱康.pptVIP

安全标志 热：热表面。触摸此表面会烧伤皮肤。 电击：指出这里有这样的危险，在此物处于带电情况下你有可能遭受电击。 辐射：指出，如果如果当绝缘体和夹钳被移开，这里的加热设备仍然在带电状态，这里可能有伤害到你眼睛的危险存在。 设备安全的要求和危险预防的措施 * * 扩散工序基础知识培训 编 写 人：周才军 * 目的及意义 培训的目的 了解扩散原理 介绍扩散车间操作流程 熟悉人员、生产、设备安全的要求和危险预防措施 培训的意义 简单介绍扩散车间的生产流程，强调生产安全问题 * 内容提纲 扩散原理 扩散车间的基本生产流程 人员、生产、设备的安全培训 * 单晶硅太阳能电池 * 多晶硅太阳能电池 * 太阳能电池工艺基本流程 * PN结的形成 太阳能电池的心脏是一个PN结。制作太阳能电池的硅片是P型的，也就是说在制造硅片时，已经掺进了一定量的硼（B）元素，使之成为P型的硅片。 硅晶体的特点是原子之间靠共价键连接在一起，硅原子的4个价电子和它相邻的4个原子组成4对共有电子对。这种共有电子对就称为“共价键”。硅片掺进硼后，由于硼原子的最外层有3个价电子，必有一个价键上因缺少一个电子而形成一个空位，我们称这个空位叫“空穴”。这种依靠空穴导电的半导体称为空穴型半导体，简称P型半导体。 * PN结的形成 同样，磷（P）原子的最外层有五个价电子，只有四个参加共价键，另一个不在价键上，成为自由电子，掺入磷的半导体起导电作用的，主要是磷所提供的自由电子，这种依靠电子导电的半导体称为电子型半导体，简称N型半导体。 如果我们把这种P型硅片放在一个石英炉管内，加热到一定温度，并引入含磷的化合物在硅片表面分解出磷，覆盖在硅片的表面，并向硅片内部渗透扩散。在有磷渗透的一面就形成了N型，在没有渗透的一面是原始P型的， 在硅片内部形成了所要的PN结。——这就是所说的扩散。扩散的目的是制作PN结。 * 扩散方式 扩散原理 扩散方法 1. 三氯氧磷（POCl3）液态源扩散 2.涂布源扩散 3.固态氮化硼源扩散 目前业内批量生产采用第一种方式。三氯氧磷纯度等级：6N。 * 三氯氧磷（ POCl3 ） POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源 无色透明液体，具有刺激性气味。如果纯度不高则呈红黄色。 比重为1.67，熔点2℃，沸点107℃，在潮湿空气中发烟。 POCl3很容易发生水解，POCl3极易挥发。 * N2 扩散装置示意图 * 扩散工艺运行过程中，用到的气体有N2和O2，纯度为99.999%。 1.小N2：小流量氮气，纯度99.999%；携带磷源进入炉管。 2.大N2：大流量氮气，纯度99.999%；净化炉管，为扩散创造净化环境。 3.O2：纯度99.999%；参与化学反应，形成PSG层。 * 磷扩散原理 1、 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式： 2、生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应方程式： 扩散原理 * 通入氧气的原因 由上一页的反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式： 生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 * 磷扩散原理（过量氧） 在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为： POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散 。 * 扩散车间操作流程 扩散原理 不合格 合格 开机准备 器件清洁 物料准备 开机 上料 自动生产 下料 关机 清洗 扩散后清洗 返工流程 检验 * 插片。戴好手套，手套的戴 法为：内层汗布手套外层PVC 手套。调节插片台风量，然 后用石英吸笔吸取硅片的扩 散相反面插入石英舟的槽中， 扩散面朝向炉尾，每槽一片 插入石英舟（做单面扩散时 每槽插两片）。 主要操作 * 主要操作 扩散后硅片影响电池转换效率的两个参数：少子寿命：是描述电子空穴复合几率的一个参数；方块电阻：是硅片的表层（薄层）电阻。 检测：等待硅片冷却后，每炉取出5片检验，他