第九章气敏传感器探究.ppt

作业： 第九章 气敏传感器 1、表面控制型气体传感器的原理 基本原理 2、元件材料 A：SnO2系： 气敏材料特点 同一材料对多种气体敏感 同一材料不同工作温度下灵敏度不一样 选择不同的催化剂，灵敏度变化很大 负离子吸附增加电阻（O2） 正离子吸附降低电阻 （CO） 3、气敏传感器的结构 A：烧结型 B、厚膜型 C、薄膜型 4、分类 总 结 基本原理 材料 结构 分类 应用领域及选择 * * 1、推导此电路的放大倍数（详细过程） 2、当通过霍尔元件的控制电流大小为100mA，灵敏度系数为20Vm2/(A·Wb)， 输出U0为200mV，求磁场大小。 霍尔传感器输出电势 放大倍数为： 霍尔电势 磁场 气敏传感器： 气敏传感器是一种检测特定气体的传感器。 主要应用：检测CO、瓦斯（甲烷）、煤气、氟利昂、酒精、口臭等。 功函数： 又称逸出功，即：把一个电子从固体内部刚刚移到此物体表面所需的最少的能量 。 标况下，将1mol理想气体分子AB拆开为中性气态原子A和B时，所需的能量叫做AB的离解能 解离能： 陶瓷吸附水分子原理： 被检测气体 N型半导体 吸附 功函数大于离解能 功函数小于离解能 半导体自由电子增加 半导体自由电子减少 电阻变小正离子吸附 电阻变大负离子吸附 正离子吸附气体：H2，CO，酒类 负离子吸附气体：O2, NOx 陶瓷吸附水分子原理： N型半导体吸附气体时的元件阻值变化情况 负离子吸附电子变少 正离子吸附电子增加 N型金属氧化物半导体 Pt和Pd做催化剂，提高灵敏度和气体识别能力 含Pt的气敏元件： 200 ℃以下： 检测CO最好 300℃： 检测丙烷 400℃以上： 检测甲烷最佳 B： 氧化锌 (ZnO) 系 氧化锌系气敏元件对还原性气体有较高的灵敏度。它的工作温度较高,比氧化锡系气敏元件的工作温度高100℃左右,因此在应用上不及氧化锡系元件普遍。 催化剂对气敏特性的影响 气敏传感器主要由如下三部分组成： ① 气体敏感元件。 ② 对敏感元件进行加热的加热器。 ③ 支持上述部件的封装部分。 三种类型： 烧结型、厚膜型、 薄膜型 1-2 之间加热，3、4短接并与1构成测量电路 测量电路与加热电路没有隔离，易相互干扰 利用丝网印刷技术制作膜，敏感层厚度数微米到数十微米,其灵敏度与烧结体型的相当,工艺性、机械强度和性能的一致性都很好。 利用蒸发或溅射制作氧化物半导体薄膜 厚度小于几微米 某气敏传感器的整体结构 结构 气敏元件必须具备如下条件： ① 对气体的敏感现象是可逆的。 ② 单位浓度的信号变化量大。 ③ 能检测出的下限浓度低。 ④ 响应重复特性良好。 ⑤ 选择性好,即对与被测气体共存的其它气体不敏感。 ⑥ 对周围环境（如温度、湿度）的依赖性小。 ⑦ 性能长期稳定,结构比较简单。 气敏传感器的主要应用范围 5 基于MEMS的新型微结构气敏传感器 Micro-Electro-Mechanical System 微机电系统 应用举例 警用酒精测量 膜混合电路气体传感器 氧化锡：甲烷 氧化钨：一氧化碳 镍酸镧：酒精