第三章2009热传导真空计.ppt

Vacuum measurement and leak detection真空测量与检漏之 Thermal conduction gauge 热传导真空计 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热传导真空计的工作原理： 图10-13 热传导真空计工作原理图 QL-热丝引线热传导的热量散失；Qr-热丝辐射的热量散失；Qg-气体分子热传导的热量散失； r1-热丝半径；r2-管壁半径；L-热丝有效长度；T1-热丝中部温度；T2-管壁温度 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热传导真空规的热量散失： 热丝引线单位时间热传导热量散失： λL：热丝热传导系数：Wm-1K-1 长度单位：m ，温度单位：K 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热丝单位时间热辐射热量散失： 根据斯蒂芬-波尔兹曼定律 σ：斯蒂芬-波尔兹曼常数 σ=5.68×10-8，Wm-2K-4 ε1、ε2：热丝表面和管壳内表面的全辐射系数 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  气体分子单位时间热传导热量散失： 根据气体热传导理论，低压气体（分子流）单位时间的热传导热量损失： λg：自由分子导热系数： Wm-2Pa-1K-1 α1：气体在热丝表面的适应系数，在0.2-0.95间 p ：气体压力，Pa 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  根据热平衡定律，当达到热平衡时，在不存在对流的情况下，热丝通电时间产生的总热量Q应等于热丝引线热传导热量、热丝热辐射散失的热量和气体分子热传导散失的热量三者之和： K1,K2：常数。 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  该式表明当K1《K2，即QL+Qr《Qg时，总的热量散失与压力p有关，它表明在一定的加热条件下，可根据低压力气体分子热传导，即气体分子对热丝的冷却能力作为压力指示。这就是热传导真空计的基本工作原理。 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热丝温度的测量方法： 热传导量与压力的关系 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热丝温度的测量方法： 热膨胀真空计：利用热丝随温度变化的热膨胀性质。用温度系数大的铂铱合金作敏感元件，连接标准弹簧指示热膨胀量。或采用双金属带（片）用自由端的转动或摆动指示热膨胀量。误差较大，使用不便。 热电阻真空计：利用热丝电阻随温度变化 热电偶真空计：利用热电偶测量热丝温 后两种是粗、低真空测量中使用最多的。 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  热传导真空计测量范围： 压力测量下限： 10-1—10-2Pa 扩展：提高Qg，降低QL+Qr 热传导量与压力的关系 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  压力测量上限： 102Pa 圆筒热传导理论：P22 热传导量与压力的关系 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  压力测量上限的扩展： 热传导理论：P23 适当提高热丝工作温度； 采用细而短的热丝，增Kn 改进热丝结构增Kn ； 稳定热丝温度，减误差； 103-104Pa 热对流现象：P23 强迫对流；自然对流 0.1MPa 热传导量与压力的关系 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  电阻真空计： 也称皮拉尼真空计，凭借热丝电阻的变化反映压力，主要由规管和测量电路组成，范围104-10-1Pa 电阻真空计规管的结构 1-电阻丝；2-管壳；3-引线 第三章热传导真空计 Thermal conduction gauge  电阻式规管