SEM扫描电镜知识点扫盲资料.doc

SEM扫描电镜知识点扫盲 /?来源: 本站原创 ?浏览次数：1108?发布时间：2015-3-31?QC检测仪器网 标签： 检测,检测仪器,qc,展会 ? ? ? ?1. 光学显微镜以可见光为介质，电子显微镜以电子束为介质，由于电子束波长远较可见光小，故电子显微镜分辨率远比光学显微镜高。光学显微镜放大倍率最高只有约1500倍，扫描式显微镜可放大到10000倍以上。 　　2. 根据de Broglie波动理论，电子的波长仅与加速电压有关： 　　λe=h / mv= h / (2qmV)1/2=12.2 / (V)1/2 (?) 　　在 10 KV 的加速电压之下，电子的波长仅为0.12?，远低于可见光的4000 - 7000?，所以电子显微镜分辨率自然比光学显微镜优越许多，但是扫描式电子显微镜的电子束直径大多在50-100?之间，电子与原子核的弹性散射 (Elastic Scattering) 与非弹性散射 (Inelastic Scattering) 的反应体积又会比原有的电子束直径增大，因此一般穿透式电子显微镜的分辨率比扫描式电子显微镜高。 　　3. 扫描式显微镜有一重要特色是具有超大的景深(depth of field)，约为光学显微镜的300倍，使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。 　　4. 扫描式电子显微镜，其系统设计由上而下，由电子枪