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PSD位置传感器实验 一、实验目的： 了解PSD光电位置敏感器件的原理与应用 二、基本原理： PSD为一具有PIN三层结构的平板半导体硅片。其断面结构如图10—1所示，表面层P为感光面，在其两边各有一信号输入电极，底层的公共电极是用与加反偏电压。当光点入射到PSD表面时，由于横向电势的存在，产生光生电流，光生电流就流向两个输出电极，从而在两个输出电极上分别得到光电流和，显然。而和的分流关系则取决于入射光点到两个输出电极间的等效电阻。假设PSD表面分流层的阻挡是均匀的，则PSD可简化为图10—2所示的电位器模型，其中、为入射光点位置到两个输出电极间的等效电阻，显然、正比于光点到两个输出电极间的距离。 图10-1 图10-2 因为 所以可得 当入射光恒定时，恒定，则入射光点与PSD中间零位点距离X与成线性关系，与入射光点强度无关。通过适当的处理电路，就可以获得光点位置的输出信号。 三、需用器件与单元： PSD传感器及位移装置、PSD传感器实验模板、主机箱 、实验步骤： 1观察PSD结构，它有四只管脚，其中有一边为园弧状附近的管脚加反偏电压，其对角线部位管脚为空