传感器原理与电路设计第11讲电容.pptVIP

* Kleine Bilder um jeden Punkt graphisch zu untermalen 第5章 电容式传感器 11.19.2015 * 第11讲 GMES 2008 目录 工作原理 测量电路 典型应用 前言 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。 广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面（料位）、成份含量等方面的测量。 特点： 结构简单、体积小、分辨率高； 可实现非接触式测量； 动态响应好； 能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作； 电容量小，功率小，输出阻抗高，负载能力差，易受外界干扰产生不稳定现象。 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 1. 工作原理 工作原理 ε ：极板间介质的介电常数； ε0 ：真空介电常数； εr：极板间介质相对介电常数； A：两平行板所覆盖的面积； d：两平行板间的距离。 变介质型 变极距型 变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 2. 变面积型电容式传感器 工作原理 电容改变量与水平位移成线性关系 线位移变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变介质型 变极距型 2. 变面积型电容式传感器 工作原理 电容改变量与角位移成线性关系 角位移变面积型 前沿 变面积型 工作原理 变