SJ-Z450A镀膜机报价单-北仪.docVIP

SJ-Z450A真空镀膜机技术配置 SJ-Z450A镀膜机为北京北仪创新真空技术有限责任公司的标准定型产品，用来蒸镀半导体行业所需的各种电学膜、光学镜片的反射膜及各种装饰性薄膜。 一、机架 机架采用型钢焊接而成，前、左、右有门。机架后部装有水气路。 机架装有脚轮及支腿，便于移动。 二、真空室 真空室钟罩采用不锈钢制成，内表面抛光，外表面喷漆处理。配有一个观察窗，用于观察工件旋转及蒸发源的工作情况。外壁焊有冷却水管，防止真空室温度过高造成部件损坏； 底板采用碳钢表面镀铬制成； 钟罩提升方式采用气动升降； 真空室内腔尺寸（内径×高）Φ450×540mm； 可镀工件直径Φ320mm； 真空室内设有照明装置，便于工作期间进行观察工作情况。 真空室内配有不锈钢防污染保护衬板。 三、真空指标（空载冷态） 极限压力：1×10-4Pa； 恢复真空抽气时间：在连续抽气情况下，从大气至2×10-3Pa≤20min。 四、真空系统 采用FF-200/1400分子泵一台及 TRP-36直联式真空泵一台，气动高真空蝶阀及气动角阀等组成。 五、电阻蒸发 最多4组水冷蒸发电极，交替蒸发； 蒸发功率2.5KW/组； 蒸发电压5,10,20V； 蒸发电流500,250,125A。 蒸发挡板采用电动控制。 蒸发转换方式主要为气动方式，适合全自动操作。 采用手动遥控盒控制蒸发。 六、直流离子轰击 轰击功率0.