Channel5Flamenco数据采集简要流程.docVIP

Channel5 数据采集简要流程（Flamenco） 注：本流程仅是Flamenco的基本操作过程，详细参数设置请参阅相关说明书 一．数据采集前的准备 将制备好的样品适当装夹后，放入SEM样品室 真空达到要求后，设置合理的加速电压、束流、倾斜校正（Tilt Correction）等电镜条件；选择适合EBSD分析的样品区域扫描得到样品图像。 *注意：请务必先在视野中观察到样品，使得尺寸合适的样品处于电子束光轴下方 打开EBSD控制器（Control Box），按住控制手柄IN键将EBSD探头伸入样品室，到工程师校准数据文件规定的位置为止。打开SEM的CCD相机观察探头位置（视电镜配置）。 打开Flamenco软件，双击图标后，选择Profile，选择Full INCA Integration…….选项，点击OK (Simulation选项只用作脱机处理或演示) 二．标定设置 使用Setup 模块 确定本底条件：在Frozen SEM Image窗口中点击stop spot mode，然后到Live EBSP窗口中确认In-Software enhancement没有被选中，选择合理的Binning（常用2×2或4×4），Gain（常用high）和Time per frame值（一般不大于100，如果调到100仍然背景不明显需要调大束流），得到合适亮度的本底。 采集本