VACUUMLEVEL的确认操作doc.docxVIP

TECHWIN SM320 Advance  PAGE 5 ■ VACUUM LEVEL/BLOW安装方法 通风安装操作 1) 确认主空压安装 - 确认主空压是否是0.5MPa。 主空压是否是0.5Mpa的确认工程 ※ 主空压影响到通风安装。因此，在通风安装及通风确认前一定要确认主空压是否是0.5MPa 2) 确认真空标准0点 用以下顺序确认真空传感器的 0调整操作是否已完成。 1.打开VACUUM DIAGNOSIS。 2.关闭各HEAD的真空/通风。 3.确认各HEAD的CURRENT LEVEL。 确认CURRENT LEVEL是否进入0±20 mmHg。 如果不进入时，重新调整Head VACUUM LEVEL0点。?HEAD INTERFACE B/D VR调整 3) 在HEAD #1~#6装上CN040吸嘴。 4) 将完全打开附着在各螺线管阀上的流量调整阀。(逆时针方向). 真空基板 吹气入口 R 调整压力 调整流量阀 真空螺线管阀 Blow 螺线管阀 侧面照明上/下螺线管阀 注意) 不完全打开附着在各螺线管上的流量调整阀调整时， 通风安装值会发生变动。 调节器 流量调整阀 5) 在MMI画面打开真空菜单。打开所有Head的通风，真空均为关闭 。 6) 调整调节器，把所有的Head压力调到-90 mmHg以上。 锁定调节器的锁螺丝。 (例如: -100, -90, -130, -120, -105, -101 mmHg) ※ 不是调整每个螺线管阀，只要调整调节器把所有Head的空压调到90mmHg 以上。此时不考虑每个HEAD偏差，并防止发生-90mmHg以下的HEAD 。 HEAD 真空传感器的灵敏度决定通风值，此时待机10秒后，调整最小值为-90mmHg 以上。 7) 只将Head 1打开通风，调整螺线管阀上的流量调整阀，使空压在-107±7mmHg范围内。锁定Head1流量调整阀锁螺丝。 以同样方法调整HEAD#2~#6的流量调整阀，锁定锁螺丝。 8) 分别打开HEAD #1~#6 BLOW，再次确认是否达到-107±7 mmHg 达不到时，进行分别细微调整。 ■ VACUUM LEVEL的确认操作 - VACUUM LEVEL确认操作的目的是为了确认真空发生器检查、实际操作真空度检查及过滤 /管道塞堵等。 操作顺序 1) 确认主空压（MAIN AIR press）0.5Mpa的调整。 2) 确认VACUUM LEVEL 0点 。 3) 过滤/管道塞堵检查 - 没有吸嘴的情况下，个别打开HEAD VACUUM，应达到200 mmHg 以下。 - 个别打开HEAD VACUUM，如果显示为200mmHg以上时，说明过滤或管道塞堵有问题，应检查并解决问题。 HEAD检查标准HEAD #1 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜HgHEAD #2 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜HgHEAD #3 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜HgHEAD #4 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜HgHEAD #5 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜HgHEAD #6 VACUUM LEVEL 确认100～200 ㎜Hg 4) 检查实际操作真空度 - 在各HEAD装上CN040吸嘴，个别打开HEAD VACUUM，应达到480 mmHg以上。 操作名称检查标准HEAD #1 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上HEAD #2 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上HEAD #3 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上HEAD #4 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上HEAD #5 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上HEAD #6 VACUUM LEVEL 确认480㎜Hg 以上 - 如果个别HEAD VACUUM LEVEL在480mmHg以下时，说明实际操作真空度出现问题，应检查并解决问题。 - 除了CN040吸嘴以外，用其它吸嘴测定时，VACUUM LEVEL会有所不同。 一定要用CN040吸嘴测定。. 5) 真空发生器的真空度检查 - 检查真空发生器是否发生并供应正常的真空度。 - 在各HEAD装上CN040吸嘴，个别打开HEAD VACUUM，堵住吸嘴边缘时，VACUUM LEVEL应在600mmHg以上。 操作名称检查标准HEAD #1 VACUUM LEVEL 确认600㎜Hg 以上HEAD #2 VACUUM LEVEL 确认600㎜Hg