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分割鏡制御用アクチュエータの評価 坂本彰弘（岡山天体物理観測所）、栗田光樹夫（京都大学） 2012年9月29日＠岡山観測所 第27回望遠鏡技術検討会 背景と目的 背景 分割鏡制御では最小分解能（数十ナノメートル）での連続指令が行われるが、そのようなマイクロステップの特性は評価できていなかった。制御モデル構築のためにこの特性を把握する必要がある。 目的 アクチュエータのマイクロステップ時における特性を評価する 最適なゲイン調整および応答性能の確認 アクチュエータ 項目 値 分解能 69 nm / 17 nm(4逓倍) 最大送り速度 3.7mm/s 繰り返し位置再現性 ±0.5um／ストローク1mm ロストモーション 5um／ストローク1mm 主なカタログスペック LAH46 ハーモニックドライブシステムズ 実用と合わない評価 実用と合わない評価 実験システム 評価項目１繰り返し再現性 上下駆動繰り返し10回 指令値：173 nm 期待される変位計出力：862 nm 入力指令 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 出力結果 変位計のノイズ 繰り返し再現性： 5 nm （上）、7 nm （下） ※変位計での値はそれぞれ、25nm、 35 nm 評価項目２位置決め精度 指令値：35 ?173nmまで9通りの微小駆動を行った。 期待される変位計出力：175? 863nm 入力指令 出力結果（例） 位置決め精度： およそ5 nm ※変位計での値は25nm ロストモーションの値は評価から除いた 評価項目３ロストモーション ステップ幅 (nm) ロストモーション （nm） 35 25 52 40 69 34 86 40 103 34 173 54 平均 38 ロストモーション 反転指令のときはロストモーションの補償として40nm程度加えることも検討 評価項目4応答性 実機使用状況と等価な負荷条件で応答性能とゲイン調整を行った。 対象のゲインパラメータは 位置ループ 速度ループ比例 速度ループ積分 最適パラメータでの応答速度は220msであった。これより十分な剛性のシステムであれば5Hzの制御が可能 ※これまで実験で用いていた出荷時のパラメータに比べて応答性が750msから220msへ改善した ここに改善前と改善後の以下のようなグラフがあれば載せてください。 カタログスペックでの評価は1㎜という大きなストロークでの評価であって、我々の使用方法とは合わない。そこで改めてマイクロステップ（微小駆動時）の評価を行う必要がある。 * 赤線で示したPeak to Valley (P-V)の半値を再現性と評価。 * カタログスペックでの評価は1㎜という大きなストロークでの評価であって、我々の使用方法とは合わない。そこで改めてマイクロステップ（微小駆動時）の評価を行う必要がある。 * 赤線で示したPeak to Valley (P-V)の半値を再現性と評価。 *