结构与物性1解析.ppt

电子能谱 （3）俄歇电子能谱（auger electron spectroscopy-AES） 激发源：高能电子或X射线 内层电子被电离后，会发生两个过程： 光辐射过程: 辐射出特征X射线 俄歇过程: 特征X射线激发一个二次电子，即俄歇 电子 M+*→M++hv’ 特征X射线 M+*→M2++e- 俄歇电子 AES——俄歇电子数量～动能Ek （注：Ek是能级特征，与激发能量无关） 电子能谱 电子探针分析 electron probe microanalysis ScanningElectron Microscope Courtesy of Iowa State U. 　　以聚焦的高速电子来激发出试样表面组成元素的特征X射线,对微区成分进行定性或定量分析的一种材料物理试验,又称电子探针X射线显微分析。电子探针分析的原理是：以动能为10～30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面，击出表面组成元素的原子内层电子，使原子电离，此时外层电子迅速填补空位而释放能量，从而产生特征X射线。 电子探针分析 Basis of Electron Probe Analysis 　　用波长色散谱仪（或能量色散谱仪）和检测计数系统,测量特征X射线的波长（或能量）和强度，即可鉴别元素的种类和浓度。 　　在不损耗试样的情况下，电子探针通常能分析直径和深度不小于1微米范围内、原子序数4以上的所有元素；但是对原子