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SEM Sample-Electron Interaction FE-SEM HITACHI S-4300 恒流工作模式 恒流工作模式 恒高工作模式 恒高工作模式 Micro-probe 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 探針在金薄膜上刻出线状图案：膜厚为15nm（上图）和 20nm（下图），外加作用力从左向右分別为 22μN、35μN和44μN 。 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 外加作用力与刻痕深度的关系 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 探針在氧化物表面制成的清华材料系徽 工作原理： STM基本原理：量子理论中的隧道效应。 工作原理： STM基本原理：量子理论中的隧道效应。 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 STM有恒电流和高度两种模式 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 探針保持固定的電流值，而随著样品表面之起伏調整其高度，以探針的高度变化來作為样品表面的成像方式。 优点：可扫描较大的高低变化。 缺点：扫描速度较慢，易受低頻杂信号干扰。 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 探針以固定的設定高度，直接以隧穿電流值的变化來作為表面形态的成像方式。 优点：可快速扫描以捕捉一些表面动态。 缺点：若扫描範圍內的样品表面起伏太大，則极容易損壞探針。 天津理工大学纳米材料与技术研究中心 利用STM進行原子表面修飾和单原子操纵，在单分子、单原子和单电子器件制作、