纳米薄膜测试技术技术总结.pptVIP

纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 摩擦系数随时间的变化曲线 纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 薄膜摩擦学性能比较 纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 5、薄膜磨痕和对偶球斑表征 用扫描电子显微镜表征薄膜摩擦后的磨痕以及对偶磨斑，进而分析薄膜的摩擦磨损失效形式。 纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 （d） （b） （c） （a） 薄膜磨痕的电镜照片 （a）TiO2;（b）1%;（c）5%（c）10%Cu 纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 （d） （b） （c） （a） 对偶钢球磨痕的电镜照片 （a）TiO2;（b）1%;（c）5%（c）10%Cu 五、典型设备介绍 典型设备介绍 1、AFM Veeco MultiMode V 120W 样品最大尺寸：35~60mm 扫描范围：X-Y:10~20mm，Z:2mm 分辨率：X-Y:≤0.1nm, Z:≤0.01nm 成像模式：力－位移曲线；间歇接触成像模式；相位成像模式；侧向力成像模式；磁力工作模式；纳米表面加工功能 典型设备介绍 2、XRD Bruker D8 Discover 125W~140W 　 最大功率：3KW 最小步距：0.0001° 主要附件：Gobel反射镜；Ge（022）四晶单色器（角分辨率≤12） 功能：单晶和外延薄膜层的质量分析；单晶、多晶和非晶的反射率分析（薄膜密度和界面粗糙度）；平行光束法多晶衍射分析 典型设备介绍 3、XPS ThermoFisher SCIENTIFIC ESCALAB 250（518W） 普通光源分辨率： 7,500,000cps 单色光源分辨率 ：1,000,000cps 单色X射线线宽：≤250meV 最大功率：600W XPS分析区域直径：＜70μm 最佳空间分辨率：＜3μm 离子枪束斑： 150μm 样品要求：非磁性；样品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解，不释放气体 典型设备介绍 4、UMT CETR UMT-3 三个传感器：5N，50N，1000N； 最高温度：1000℃； 最大载荷：1000N； 最高频率：60Hz； 测量时间：任意可调。 摩擦对偶：材料、直径可根据实际情况选择。 典型设备介绍 5、SEM Carl Zeiss EVO 18 分辨率：3.0 nm 加速电压：0.2-30KV 放大倍数：5-1000000 x 探针电流：0.5pA-5μA 低真空范围：10-400Pa 最大试样高度：145mm 最大试样直径：250mm 六、发展展望 发展展望 1、传统测试技术的局限性 测试设备昂贵； 没有明确的判断标准； 测试过程繁琐，不易操作 发展展望 2、分子动力学 分子动力学计算机模拟是研究复杂的微观系统的有力工具。 依靠牛顿力学来模拟分子体系的运动，以在由分子体系的不同状态构成的系综中抽取样本，从而计算体系的构型积分，并以构型积分的结果为基础进一步计算体系的热力学量和其他宏观性质。 发展展望 分子动力学模型 力随压深的变化曲线 发展展望 3、存在的问题 材料的势函数？ 谢谢！ 纳米薄膜的摩擦学性能测试技术 报告人： 王 博 E-mail：wangb001@163.com 2014 年 5 月 30 日 一、 纳米薄膜简介 二、 三、 纳米薄膜的制备方法 四、 纳米薄膜的表征和摩擦学性能测试 五、 典型设备介绍 报告提纲 六、 发展展望 纳米薄膜主要应用 一、纳米薄膜简介 纳米薄膜简介 1、纳米薄膜定义 纳米薄膜是指尺寸在nm量级的颗粒 晶粒 构成的薄膜或者层厚在nm量级的单层或多 层薄膜。 通常也称作纳米颗粒薄膜和纳米多层薄膜 2、纳米薄膜的分类 纳米薄膜技术发展十分迅速，种类众多，分类方法也各式各样 按用途：纳米功能薄膜、纳米结构薄膜； 按层数：纳米单层薄膜、纳米多层薄膜； 按微结构：含有纳米颗粒的基质薄膜、纳米尺寸厚度的薄膜； 按组分：有机纳米薄膜、无机纳米薄膜； 按薄膜的构成与致密度：颗粒膜、致密膜； 按应用：纳米光学薄膜、纳米耐磨损与纳米润滑膜、纳米磁性薄膜、纳米气敏薄膜、纳米滤膜。 纳米薄膜简介 二、纳米薄膜主要应用 纳米薄膜主要应用 纳米薄膜 光学特性 吸收光谱的“蓝移”、宽化 与 “红移”，光学非线性 力学特性 特征尺寸引起硬度的增高， 结构缺陷造成耐磨性增强， 裂纹尖端钝化使韧性增大。 电磁学特性 电学特性、磁学特性和巨磁电阻特性 气敏特性 对特定气体的进行物理吸附 和化学吸附的特性 1、纳米薄膜的特性 纳米薄膜主要应用 纳米薄膜 主要应用 润滑与 耐磨损 气敏 光学 电磁学 2、纳米薄膜的主要应用 滤膜 三、纳米薄膜制备方法 纳米薄膜制备方法 物理方法 1、低能团簇束沉积法 2、真空蒸发法 3、溅射沉积法 4、分子束