一种激光三角测厚中非线性的校正方法.docVIP

一种激光三角测厚中非线性的校正方法 　　摘要： 针对单镜头激光三角法测同一物体厚度时图像探测器上两光斑间距与被测物位置之间的非线性关系，提出了一种非线性校正方法，并用实验验证了校正效果。分析了单镜头激光三角法测厚原理，总结了引起非线性的因素，对校正方法的函数模型进行了理论推导，并对校正前后测量数据进行了详细分析。研究结果表明，使用该非线性校正方法后，图像探测器上成像光斑间距值随被测物位置变化的波动程度明显减小，测量厚度的均方差值也变小，系统的测量精度得到提高。 　　关键词： 激光三角法； 非线性校正； 超定方程 　　中图分类号： TH 744.5文献标识码： Adoi： 10.3969/j.issn2013.02.005 　　引言激光三角法是常用的位移测量方法，利用双光路激光三角法进行厚度测量是一种广泛应用的在线测厚方式，其特点是健康环保，实时性好，测量速度快，标定简单，操作方便，不足之处是被测物振动对其测量精度影响较大[14]。单镜头激光三角法是一种高精度、测量不受被测物振动影响的在线测厚方法，其测厚原理基于直射型激光三角法和理想光学系统成像原理，在C型测量臂的量程范围内，放置任意一块非透明物体，均可准确得到被测物厚度。单镜头激光三角法测厚仪的精度取决于以下几个方面：（1）光学及机械零部件的加工精度；（2）作为光源的上下激光器是否同轴对准以及其