不鏽鋼雙極板之表面改質處理.docVIP

不鏽鋼雙極板之表面改質處理 陳士堃 教授編撰一、實驗目的 PEMFC 目前無法商業化的主要因素之一為材料成本過高，而其中一個發展瓶頸為雙極板。因此，本研究之主要目的，乃利用AISI 304不鏽鋼成本低、易加工、機械強度大以及氣密性高與電阻小的特性作為雙極板的材料，以取代價格昂貴、不易加工、機械性質差與氣阻能力較低的石墨雙極板。實驗採用磁控濺鍍式的真空製程技術來被覆鍍層於AISI 304不鏽鋼表面，達到雙極板抗蝕性的要求。二、實驗原理 2-2-1-1 電漿 真空鍍膜技術中所需的高能量離子需藉著形成電漿（plasma）達成。電漿的定義是一團帶電荷的氣体分子，並且其中的正電荷（通常為正離子）和負電荷（通常為電子）總數約略相等；換言之電漿整體呈電中性。通常被激發成電漿態的氣體除了這兩種帶電荷粒子之外，還有若干激動狀態的中性氣體分子。故通常電漿內含有中性氣體分子、離子、電子和激動狀態的中性氣體分子。 在濺鍍製程中形成電漿的方法就是對通入之製程氣體施加高電場，利用直流、交流或微波的方式將氣體或分子離子化；當電源供應器施加一高壓電場於一真空低壓系統中的兩個相對電極板上時，此時存在於氣體中極微量的游離電子受到高壓電場的加速，進而碰撞氣體原子或分子，使受到碰撞的氣體原子或分子發生激發或原子離子化的現象，因而形成電漿。 在直流放電管中，施加一直流電源供應器於兩平行電極板上，隨著施加的電壓不同，電漿會