低温等离子体应用的几个理论问题.docVIP

低温等离子体应用中的几个理论问题 摘要 低温等离子体在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域起着越 来越重要的作用，而很多的理论问题有待人们去解决。本博士学位论文第一部 分第一章介绍了低温等离子体的分类及几种常规的工业应用;第二章简单介绍 --一----------------一、一-...一一一一--一---一~一--一__一 它在环保和通信方面的一些应用:第三章对等离子体化学作了简单叙述:第四 章叙诊子)压退等离子雌至里丝上丘血班三盔醛因叙琅水 。第五章详细介绍了目前尘埃等离子体物理的研 山于尘粒在力n:=n等离子体中的作用，研究它的形成与行为及其对等离子休 中的许多过程的影响己成为低温等离子体物理学中最重要的前沿分支。因此木 论文在第二部分专题研究中专门研究了尘粒对离子输运的影响(第六章)和碰 撞尘埃等离子体中的低频波(第七章)o关于离子输运，我们用蒙特卡罗方法 模拟了平行板辉光放电等离子体中尘粒对鞘层离子输运的影响。考虑了自洽电 场。当离子在鞘层运动时，考虑离子与中性原子之间的电荷交换和弹性碰撞， 以及离子被尘粒的库仑散射和收集作用。模拟得到了一些新的结果:(1)当尘 粒的密度、尺寸、电量增加时，离子到达靶处的能量分布向低能区转移;(2) 随尘粒含量( Yld / Yl;o)增加，靶处离子的密度呈指数衰减;(3)靶处离子的密 度随尘粒半径的