一种球面在线检测系统及其结构设计.docVIP

一种球面在线检测系统及其结构设计 　　摘要：光学镜片需求量日趋增长，镜片的在线检测有助于提高产品生产率。结合球面镜片的生产特点，基于泰曼―格林干涉原理设计了一种球面在线检测系统，同时对其机构进行了设计。该系统组成简单、安装简易，可适用于凹、凸球面的检验。用普通的光学样板代替标准镜头产生参考波前，价格相对低廉；同时根据光学样板的外形特点设计了调节机构，调节方便。通过样机调试，获得干涉图样清晰、稳定，可以满足后续的图像处理要求。 　　关键词： 　　球面检测系统； 泰曼-格林原理； 在线性； 结构设计 　　中图分类号： TH 744.3 文献标识码： A 　　引 言 　　光干涉法由于具有很高的测量精度，经常应用在许多精密、超精密加工测量工作中[1，2]。光学零件作为一种精密加工的元件，其加工过程控制和最终的结果检验都依靠光学干涉法，即通过干涉的方法检验光学零件面形偏差。通常采用光学样板法或干涉仪测量，在垂直于一个圆形检验范围内的位置所观察到的干涉条纹（通称光圈）的数目、形状、变化和颜色来确定其面形偏差[3-5]。 　　目前国内外多种类型的干涉仪可以实现对球面光学工件面形的精确测量。这些干涉仪器从干涉图样信息获得被测球面面形的象散偏差及局部偏差，采用精密导轨根据球面球心和顶点之间的距离测量出光学工件的曲率半径，但这些仪器大都用于光学零件的最终检验，而且通常价格昂贵、体