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- 2016-10-07 发布于重庆
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新一代高纯硅提炼技术1
新一代高纯硅提炼技术
KJBY-1型提纯炉(实验型。含电子束提纯炉及等离子体提纯炉)
装炉量:1000g
电子枪功率:30kW
等离子体源功率:30kW
总功率:80kW
占地面积:100平米
KJBY-100型提纯炉(生产型。含电子束提纯炉及等离子体提纯炉)
装炉量:100kg
电子枪功率:300kW
等离子体源功率:300kW
总功率:800kW
占地面积:500平米
设备特征效果图
一、技术简介
替代传统的西门子法、物理冶金法制备太阳能电池用硅1)酸洗:将冶金级或化学级的工业硅破碎至一定粒度级,用适宜种类和浓度的酸进行泡洗,以压缩空气作为动力进行搅拌和传输,在不同种类和浓度的酸之间反复泡洗,除去一定量的金属杂质。
2高温真空熔炼:将酸洗过得硅粉,在不断抽真空状态下加热熔化,使非金属杂质逸出,并被抽出。
3定向凝固:将熔化后的硅,移至特定的环境下,使熔体从底部开始向上缓慢凝固,利用不同杂质在硅中分凝系数不同,将杂质富集在硅块两头,最后切头去尾。经过几次反复定向凝固。
工艺过程图
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工艺原理图
技术特色
真空熔融除磷提纯时,常规的物理冶金法技术采用的是热阴极电子枪,与热阴极电子枪相比,借鉴国外先进技术,我们自主研制气体放电型电子枪具有显著优点:
不需要额外的高真空系统
没有使用寿命只有数十小时的热阴极W丝,寿命可超过千小时
工作电源大为简化
体积小,可以任意方向安装
有效功率高
不仅可以应用于高真空场合,在低真空、甚至大气压下也可以工作。即,可以替代等离子体炬,全部完成硅的提纯
下图分别是不同功率的电子枪及电子枪工作系统。
熔融定向凝固清除杂质时,因为需要在较高压强下工作,通常采用大功率等离子体炬。下图分别为自主研制的等离子体炬工作图及等离子体炬工作系统图。在定向凝固除杂方面,我们的优势有:
具有成熟的大功率等离子体炬研制、应用技术与经验
采用独具特色的技术,能够加速杂质的扩散、清除
可采用更加清洁的大功率、可应用于大气压环境的自主知识产权的电子束作为热源。
本系列装备不仅可以应用于硅的提出,同样可以应用于其他各种金属、非金属、半导体材料等的提纯。
可以根据用户需求进行订制。
北京博源明石科技有限公司
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