第5章-真空技术重点.ppt

第5章 真空技术 第5章 真空技术 * * 5.1 真空概念 5.2 真空获得 5.3 真空系统 5.4 真空检漏 5.1 真空概念 真空：在给定空间内低于1个标准大气压的气体状态 真空度：衡量气体稀薄程度的量，用绝对压强来表示 粗真空：1.01×105—1.33×103Pa 低真空：1.33×103—1.33×10-1Pa （机械泵） 高真空：1.33×10-1—1.33×10-6Pa（扩散泵） 超高真空： 1.33×10-6—1.33×10-10Pa 极高真空：＜1.33×10-10Pa 5.2 真空获得 用真空泵抽气：主要方法 吸附：辅助方法，加入吸附剂，将气体吸附 冷凝：辅助方法，用液氮将气体冷凝 在一个大气压下开始抽气的泵称为前级泵； 低于一个大气压下才开始抽气的泵称为次级泵。 常用真空泵 　①机械真空泵：有旋片式真空泵、往复式真空泵、滑针式真空泵等。一般能达到小于１Pa的低真空度。 　②油扩散泵：由加热部分、冷却部分和喷射部分组成。工作时经电炉加热使泵体内的扩散油挥发成蒸汽，油蒸汽沿导管上升由喷嘴喷出。一般可达小于１０－４Pa的高真空度。 　③水蒸气喷射泵：由高速水蒸气喷入抽气机造成低压空间，被抽气体不断流入这一低压空间，被水蒸气带出而获得真空．一般可达小于１Pa的低真空度。 　　 水蒸气喷射泵抽气量大，冶金工业中常用，如VD、RH真空炉。 旋片式真空