射频反应磁控溅制备VOx薄膜.docVIP

全部作者： 李建峰 吴志明 王涛 魏雄邦 黎威志 第1作者单位： 电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室 论文摘要： 本文采用射频反应溅射法制备了VOx薄膜,重点研究了氧分压对薄膜电学性能的影响，在低真空中330 ℃低温退火得到了高性能的VOx 薄膜，制得了具有电阻温度系数较高（-3.97%）和方阻较小的VOx薄膜, 并采用X光电子能谱分析仪XPS 对薄膜的结构及成分进行了分析，经分析计算得到其化学计量式为VO1.9。 关键词： VOx薄膜；射频反应溅射；电阻温度系数 浏览全文 发表日期： 2008年04月11日 同行评议： 该文研究了溅射条件主要是氧分压对VOX薄膜电学性能的影响，虽然取得了1些有意义的结果，但总得来说不具有创新性。在论文写作中，有1些基本的错误，比如：（1）XPS不能用来分析材料的结构，但在摘要中作者声称用XPS分析了薄膜的结构。（2）在第2页中，有1段这样的描述：在氧分压0.3％,......,金属钒没有产生反应......。首先，“金属钒没有发生反应”这个说法不清楚，应该指出金属钒与什么没有发生反应；其次，从本质上说，金属钒不可能没有被氧化，只是氧化的程度较轻而已。 （3）在图1中的升降温度曲线的表示方面，不够清楚。横坐标的温度都是从小到大，如何让读者辩明是升降温曲线？（4）在第3页中，作者描述XPS的分析室真空优于220－7Pa，评审人认为这不可能，希望这是1个笔误。 此外，论文写作用语不够规范，有多处语法不通。比如：第2页中的“由于靶表面只是吸附...”等等,不1而足。 综合评价： 修改稿： 注：同行评议是由特聘的同行专家给出的评审意见，综合评价是综合专家对论文各要素的评议得出的数值，以1至5颗星显示。 1.绪论 1.1研究背景 网络被认为是互联网发展的第三阶段。网络的设计和实施能够带来切身实际的利益，城域网、企业网、局域网、家庭网和个人网络都是网络发展的体现。网络发明的初衷并不仅仅是表现在它的规模上，而是互联互通，资源共享，消除资源访问的壁垒，让生活更加方便、快捷、高效。随着网络技术的发展，网络在应用方面也体现出了很大的潜力，能够共享和调度成千上万的计算设备协同并发工作，能汇聚数百万计的信息资源加以归类、分析和发布，还可以让世界每一个角落的人们实时沟通交流。在现代高速发展的社会里，企业与企业之间的联系日益密切，大量的、复杂的信息交流显得由为重要。随着电子科技的高速发展，那些如何复杂大量的信息，通过网络技术帮助下，就可以轻而易举的从某一地方传送到另一地方，而且简单、快速、准确，给人们带来了很大的方便。而在现代企业中，网络技术在管理中的应用，已显得举足轻重。随着企业信息化进程的进一步深入和发展，计算机在企业中的应用越来越广泛，而企业对计算机的依赖越来越强。随着网络应用的日益丰富以及人们在日常生活中对网络依赖的日渐紧密，那么对于网络吞吐量，网络延时，网络链路的稳定性以及网络服务的多样性就会产生新的要求，同时也希望网络应用的花销能更加低廉，这样针对电信网络运营商所提供的服务将会产生巨大的挑战，本实时通信系统的成功应用将会给运营商们提供更加方便，快捷，稳定，并且低廉的网络运营成本，本实时通信系统帮助企业实现巨大的商业价值的同时也为用户带来的更加高效，快速，稳定并且廉价的网络服务资源。 更多文章 / mxdwk 1.2 选题理论 1.2.1 需求分析方法 在软件的设计和开发过程中，需求分析是一个重要的阶段，是项目开发的基本要素，是项目实现和实行的关键。软件工程的需求分析指的是了解用户需求，在软件的功能上和客户沟通并且达成一致，评估软件的风险系数和项目需要付出的代价，最终形成一个完善设计实现的复杂过程。目前比较流行的软件需求分析方法有：结构化分析方法和面向对象的分析方法。 1. 结构化分析 结构化分析方法给出一组帮助系统分析人员产生功能规约的原理与技术。它一般利用图形表达用户需求，使用的手段主要有数据流图、数据字典、结构化语言、判定表以及判定树等。结构化分析的步骤如下：①分析当前的情况，做出反映当前物理模型的 DFD;②推导出等价的逻辑模型的 DFD;③设计新的逻辑系统，生成数据字典和基元描述;④建立人机接口，提出可供选择的目标系统物理模型的 DFD;⑤确定各种方案的成本和风险等级，据此对各种方案进行分析;⑥选择一种方案;⑦建立完整的需求规约。 2. 面向对象分析 面向对象是在结构化设计方法出现很多问题的情况下应运而生的。从结构化设计的方法中，我们不难发现，结构化设计方法求解问题的基本策略是从功能的角度审视问题域。它将应用程序看成实现某些特定任务的功能模块，其中子过程是实现某项具体操作的底层功能模块。在每个功能模块中，用数据结构描述待处理数据的组织形式，用算法描述具体的操作过程。面对日