8.生物医学传感-压电式分析.ppt

石英晶体切片 石英晶体薄片 5. 无线传感器 工作原理---压电效应 压电材料(石英、压电陶瓷）特性 等效电路及测量电路 压电传感器的应用 SAW传感器的原理及应用 小 结 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器。 2、电荷放大器 在放大器开环增益A足够大时： 灵敏度 与电缆电容无关 五、 压电传感器的应用 1、压电式加速度传感器 2、? 压电式压力传感器 流量显示 1789 输出信号 换能器 换能器 接收 接收 发射 发射 压电式流量计 3、? 压电式流量计 4、? 压电式传感器的其他应用 汽车安全气囊系统 事故性碰撞：点火信号、电点火管、气体发生剂、 气体、充气、弹性体 压电式血压传感器 指套式电子血压计 生物医学中的应用: 另外，医用超声仪器：超声治疗机、超声多普勒血流记、超声手术刀、超声显微镜等等 心内导管压电微音器 作业：超声多普勒血流记 §7-2 声表面波传感器 一、声表面波的基本原理 二、SAW传感器的工作原理 三、SAW传感器的主要应用 一、声表面波的基本原理 1. 声表面波简介 瑞利波示意图 瑞利波质点运动随深度的变化 瑞利波（Rayleigh波） 勒夫波（Love waves） 2.声表面波的发展历史 3.声表面波的技术特点 4、声表面波器件可以十分方便地产生高频信号； 1、具有较低的传播速度，由于声表面波的传播速度仅为电磁波的1/10-5，在其传播路径上容易取样和进行处理； 2、低成本，利用半导体工艺的光刻技术（平面工艺）； 3、高强度，易于设计； SAW器件的工作原理：通过对在压电基片上传播的声信号进行各种处理，并利用声电换能器的特性来完成的。 二、SAW传感器的基本原理 1、SAW叉指换能器的工作原理 （a）单指叉指换能器， （b）双电极叉指换能器。 IDTs的参数： （1）叉指对数N；（2）孔径W(指条长度）；（3）指条宽度a；（4）指条间隔宽度b； （5）叉指的周期M。 均匀叉指换能器的指条宽度等于指条间隔宽度，即 a=b=M/4 压电基片内出现的电场分布 基片上电极制作流程示意图。（a）基片前处理；（b）镀金属膜； （c）-（d）在金属层上光刻；（e）金属层腐蚀；（f）除胶。 2、SAW叉指换能器的制备 3、SAW传感器的基本原理 SAW传感器特性 SAW传感器优势 三、SAW传感器的主要应用 温度传感器 压力传感器 湿度传感器 陀螺仪（角速率） 气体(化学)传感器 液体(生物)传感器 压力检测 温度检测 电子标签识别 物理传感器 无线传感器 化学、生物传感器 1、SAW温度传感器 2、SAW压力传感器 应用：在某些心脏肺部驱动以及一些生物技术、工艺流程中得到较好的应用。 4、SAW气体传感器 现有气体传感技术： 结合敏感膜材料的SAW气体检测的基本原理： 与气相色谱相结合，实现不通气体组分时间上的分离。 化学毒剂（GB，GA，GD，以及VX等）的检测应用 －－典型应用 * 第七章 压电式传感器 上次课内容回顾 自感式传感器 差动变压器式传感器 电涡流式传感器 ? §7-1 压电式传感器? 工作原理---压电效应 压电材料(石英、压电陶瓷）特性 等效电路及测量电路 压电传感器的应用 一、压电效应 重要特性 （双向有源器件） 何为压电式传感器 ? 二、 压电材料 ：具有压电效应的材料 纳 米 发 电 机 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 ⑴ 石英晶体的压电效应 天然形成的石英晶体外形 石英晶体三个晶轴 光轴：z电轴：x机械轴：y 石英晶体的产生压电效应的物理过程： Y + + + - - - X (a) FX=0 P1 P2 P3 作用力与产生电荷之间的关系： FX X Y + + + + － － － － FX (b) FX0 + + + - - - P1 P2 P3 (P1+P2+P3)X0 （P1+P2+P3）Y=0 （P1+P2+P3）Z=0 （P1+P2+P3）X0 （P1+P2+P3）Y=0 （P1+P2+P3）Z=0 (c) FX0 Y + + + - - X - + + + － － － FX FX P2 P3 P1 + － 双面镀银并封装 （2） 压电陶瓷的压电效应 三、 压电方程 或 F1 X Y + + + + － － － － F1 F10 + + + - - - P1 P2 P3 1、 纵向效应传感器 2、 横向效应传感器 四、 等效电路与测量电路 ＋＋＋＋ ―――― Q 电极 压电晶体 (a) Q Ca (b) 其电容量为： 当两极板聚集异性电荷时，则两极板呈现一定的电压，其大小为： 理想等效电