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塑膠基板之真空鍍膜技術及其應用 Recent Trends in Vacuum Coating Technology on a Plastic Substrate 作者：邱大偉 黃敬佩 在塑膠基板具輕、薄、耐衝擊及可撓曲的優勢下，取代玻璃基板應用於各種光學鍍膜及導電膜製鍍是未來發展之趨勢。但塑膠基板上在鍍膜上也遭遇到一些瓶頸待克服，如薄膜附著性、低溫鍍膜所造成膜質不佳等問題。本文旨將針對在塑膠基板上製鍍各種薄膜之技術，包含光學級塑膠基板選擇、鍍膜前處理及表面改質、各種鍍膜製程及其應用的近況做一簡單介紹。 More attentions are being given to pPlastic based devices have received increasing attention because of owing to their potential properties such as lightweight, thin, flexible and high impact resistance on the applications of integrated circuits IC and flat panel displays. Nowadays the Current demands on the flexible devices are more robust, high-thermal enduring that could be suitable appropriate for various kind of vacuum coating processes. This paper will illustratearticle describes the applications of vacuum coating technology on a plastic substrate. ThatExactly how to select a moderately plastic substrate for the vacuum coating purpose, pre-treatment of plastic substrate and various of coating process are is also discussed in this paper. 一、前言 未來塑膠基板取代玻璃基板成為次世代顯示器材料是可期的。因為塑膠基板擁有較玻璃基板之輕、薄、耐衝擊、可捲曲等優勢，可應用於許多可攜式及穿戴式顯示裝置，以提高使用壽命並增加使用範圍。目前塑膠基板鍍膜在光電產業的應用有：  一 透明導電薄膜 Transparent Con-ductive Film ： 利用塑膠基材的特性，鍍上透明導電膜作為電極，應用於觸控式面板螢幕、液晶顯示面板 LCD panel 、有機發光二極體 OLED 、電子書 e-book 等，可增加產品的競爭力。除了更輕更薄外，可撓曲的基板優點更是未來被光電產業應用所吸引的主因。  二 抗反射防靜電薄膜 Anti-reflection/ Anti-static ： 抗反射膜能增加對比、降低反射並增加穿透率，同時經由膜層的設計，尚能有抗靜電、耐污、防紫外線照射破壞的功能。以往將抗反射膜鍍於玻璃上的需求已明顯降低，取而代之的是在鍍於塑膠基材如偏光板、lightguide等，以增加產品的功能性。  三 表面硬化膜 hard coating ： Hard Coating也是塑膠基板鍍膜的應用之一，對於表面硬度不足的塑膠基材而言，鍍上hard coating，如類鑽石膜 Diamond Like Carbon 等，能大幅增加塑膠基材表面的硬度，增加產品的使用壽命。產品的應用如：觸控面板、偏光板、各式塑膠型顯示器等。  四 光儲存： 如CD-R、DVD-R等在polycarbonate PC 基板上製鍍反射層。  五 其他： 其他塑膠基板鍍膜之產品應用方面尚有如，在PI Polyimide 膜上鍍上Cu薄膜以作為製鍍銅箔的導電電極，此為FPC Flexible Print Circuit 的製程之基板材料。另外如switching glazing 圖一 、optical filter以及降低水氧氣滲透所製鍍的阻絕層等，均是能利用塑膠基板以鍍膜方式增加其功能性所發展出來的用途。 二、光電產業所需之塑膠基板特性 基板在整個光電產業應用中所佔的成本比例雖不高，但卻影響整體產品性能甚鉅。因此，選擇與產品匹配度最高的塑膠基板是各廠家要跨進塑膠基板鍍膜首要面臨的課題，基本上塑膠基材的選擇其中有幾個大方向是不變的，光電、顯