陶瓷微注射试卷.docVIP

微机电系统MEMS 微型元器件 粉末微注射u PIM 一.微注射优势 1.传统的微细加工工艺 难以满足微米级构件的制造 光刻和离子蚀刻可以制造微米级构件，但零件的形状和材料受到限制； LIGA 技术和特种微型机械加工技术在零部件形状和尺寸上虽有突破，但工艺复杂，周期长，制作成本过高。 粉末微注射成型( Micro Power Injection Molding， μPIM) 表面效应和尺度效应 易实现低成本大规模生产具有复杂微细结构的零件； 质量在毫克级， 外形尺寸或局部结构尺寸为微米级； 近净成形、高精度、组织均匀、成本低（同传统注射）； 更好的热稳定性、化学稳定性以及特殊的力学性能（与聚合物和金属材料相比）故 μPIM成为陶瓷微器件最具潜力的大规模生产技术 μPIM步骤 喂料的制备 陶瓷粉末与粘结剂按合适的比例由混炼设备初步混制，所得的混合物经制粒装置制成大小合适的粒状喂料 1.1粉末超细化 （1）粉末：常规粒径10um，引入超细粉末粒径1um以下——微元件尺寸更小(10倍粒径） （2）原料:陶瓷粉末 原因： a.较金属粉末更易获得小的粒径，可控性更好，这是因为在纳米尺寸范围内后者易发生自燃； 注：金属粉末颗粒尺寸小、比表面积大、表面能高、表面原子所占比例大等超微颗粒的表面具有很高的活性,在空气中会迅速氧化而燃烧 b.陶瓷具有良