激光平面干涉仪明书.doc

用途 激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。对于干涉条纹可目视、测量读数。工作时对防震要求一般。该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。 如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。 主要数据 第一标准平面（A面）,不镀膜。工作直径：D1=φ146mm 不平度小于0.02um 2.第二标准平面（B面），不镀膜。工作直径：D2=φ140mm 不平度小于0.03um 3.准直系统：孔径F/2.8， 工作直径：D0=φ146mm 焦距：f=400mm 4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°， 成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10 F=15 f=23 f=37 5.工作波长：632.8nm 6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。 7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。 8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm 9.仪器重量：100公斤 图一 第一标准平面（A面）精度照片 图二 第二标准平面（B面） 工作原理 本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。 根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。光的干涉现象是光的波动性的特性。因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。 波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。 等厚干涉原理 能够产生干涉的光束，叫相干光。相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。如图三（3）基准面P1，被测面为P2.当平行光束是S-S射到基准面P1上时，其中一部分反射为S′-S′， 另一部分折射为B-F，进入基准面和被测面之间的空气层内，经被测零件的上表面P1反射之后，沿方向S′-S′射出。 两束光在C点处相遇，其光程差为： =(BF+FC)n′-EC.n （1） 式中n′和n——分别表示玻璃和空气的折射率。 由图三（3）可得：BF=FC= (2) 式中 h——空气层的厚度； i和i′——分别为入射角和折射角 由△BEC和△BCF可行 EC=BCsin i （3） BC=2h tg i′ （4） 将公式(4)代入（3）后，再和（2）一起代入（1）得： 因为n sin i=n′sin i′,所以 空气的折射率n=1，故 =2 h cos i′ 由于光线在被测零的表面上反射，其位相将发生/2的突变，故光程差应该用下式来表示： （5） 为了讨论方便起见，将公式（5）写成如下的形式： 当式中的m为整数时，m即为干涉级数。由于这时相干光的初始相位差φ=0，所以m即为干涉条纹的条纹数，亦即通常所说的光圈数。 由公式（5）可以看出：光程差的大小仅仅与空气层的厚度和光线的折射角有关。相干光束以相同的倾角射入空气层，由于空气厚度的变化，所呈现的亮暗相间的干涉条纹是对空气层上等厚度点的轨迹，这类干涉就称为等厚干涉。 见图三（2）由于仪器的标准平面P1具有很高的精度，因此可以认为：经P1反射后的波面M1与M0完全相同。 假使被检系统P2没有误差，因此也可以认为：经P2反射后的波面M2与M0完全相同，即与M1完全相同。 如果M1、M2之间存在楔角,则两波面叠加相干时，得到平行的、直线的、等间距的一系列干涉条纹，相邻两条纹的间隔——即条纹宽度B由下决定： B= (以弧线计)…………………（6） 式 B= (以秒计算)………(7) 当B=632.8nm时（He-Ne激光输出波长）时， B=130.528/ （mm） (8) 由（6）（7）（8）式可知：