第10章数字式感器.doc

第十章、数字式传感器 目前各种数字显示的非电量检测装置巳广泛使用。 在机械制造工业中应用得比较成熟的是光栅、磁栅、感应同步器等为传感元件的数字测量仪器。这些数字式测量仪器具有检测精度高、寿命长、抗干扰能力强、使用方便等优点； 第一节、光栅式传感器 利用光栅的衍射现象，把光栅应用于光谱分析、测定光披的波长等方面。 利用光栅莫尔条纹现象，把光栅作为测量元件，开始应用于机床和计算仪器上。 由于光栅具有结构原理简单、计量精度高等优点，受到重视和推广。 光栅传感器，成功地作为数控机床的位置检测元件，并用于高精度机床和仪器的精密定位或长度、速度、加速度、振动等方面的测量。 光栅传感器的结构： 光栅传感器由：照明系统、光栅副、光电接收元件所组成；如图10-1所示。 1光源、2透镜、3主光栅、4指示光栅、5光电元件 图10-1透射光栅传感器光路 1、照明系统： 照明系统由：光源和透镜构成； 光源：钨丝灯泡、砷化镓发光二极管。 透镜：将光源发出的光转换成平行光。 2、光栅副： 光栅副由主光栅和指示光栅构成； 主光栅又叫标尺光栅是测量的基准。常用高于白玻璃制作。主光栅的有效长度由测量范围决定。一般主光栅比指示光栅长。 指示光栅用光学玻璃，其长度只要能产生测量所需的莫尔莫尔莫尔测试技术 莫尔(Moire)一词在法语中的原意是水波纹或波状花纹。当薄的两层丝绸重叠在一起并时，则形成一种漂动的水波形花样，当时就将这种有趣的花样称为莫尔条纹。一般可两组(或多组)有一定排列规律的几何线簇的叠合，均能产生按新规律分布的莫尔条1874年英国物理学家瑞利首次将莫尔图案作为一种计测手段，根据条纹形态来评价线纹间的间隔均匀性，从而开创了莫尔测试技术。随着光刻技术和光电子技术水平莫尔技术获得较快发展，在位移测试、数字控制、伺服跟踪、运动比较等方面有广泛的 ⑴、莫尔测试技术基础 两组(或多组)几何线簇的叠合均能产生按新规律分布的莫尔条纹。在莫尔测试技术两块光栅(称为光栅付)或光栅的两个像的重叠产生莫尔条纹，以获取各种被测量因此，有必要先讨论莫尔条纹的形成原理，即讨论什么样的光栅在什么样的叠合情况什么样的莫尔条纹。 学原理 莫尔条纹的形成，实质是光通过光栅时光的衍射和干涉的结果。如果在莫尔测试技的光源为非相干光源，光栅为节距较大的黑白光栅，光栅付栅线面之间间隙较小时，按照光是直线传播的几何光学原理，利用光栅栅线之间的遮光效应来解释莫尔条纹推导出光栅付结构参数与莫尔条纹几何图形的关系。 遮光原理 黑白线光栅相互叠合时，如果两线光栅的节距不同，或栅线方向不同，或节距与栅不同时，均可形成莫尔条纹。如图所示为两节距较大的粗线光栅重叠形成莫尔图当一块线(不透光部分)叠合在另一块光栅的缝隙位置时，在这个位置上将没有或很少有光位置最暗。而在两个线光栅栅线互相叠合的区域或两个线光栅栅线交点区域，光栅有遮挡，则透光面积最大，此位置最亮。若将最暗位置和最亮位置分别连起来，则或最亮带，即莫尔条纹。原则上莫尔条纹可用亮纹表示，也可用暗纹表示，但实际用亮纹表示。由以上遮光原理的分析可见，莫尔条纹的分布，其几何形态、条纹间距及条纹方位等均可由两光栅栅线交点的轨迹确定。光栅的相邻栅线对于人的张角小于视网膜的分辨率，所观察到的将仅仅是莫尔条纹。 图(a)中，两栅节距不同、栅线方向相同，所形成莫尔条纹的方向与栅线方向相同称为纵向莫尔条纹。应用遮光原理求解莫尔条纹的几何形态、条纹间距及条纹方位时，最常采用的是几何序数方程法。几何前适用于局部范围，比较直观简便序数方程法适用于全场，且能导出莫尔条纹。由于莫尔条纹的几何形态、条纹间距及条纹方位仅取决于两光栅的栅线间距及叠的相对位置，而与栅线的实际宽度无关，因此，在分析、确定莫尔条纹的间距、方位等参数时，黑白线光栅可用栅线(黑遮光部分)的几何中心线表示具有一定宽度的实际栅线。 1、用序数方程法栅莫尔条纹 设光栅对的栅线交角为θ，取主光栅的零号栅线为y轴，垂直于主光栅的栅线的方向为轴。与在零号线的交点为原点，如图所示。 由图中看出，主光栅与指示光栅各刻线交点的连线即构成了莫尔条纹。主光栅刻线序列用i=，1，2， 3，表示，指示光栅刻线序列用j=，1，2，3，表示，两光栅刻线的交点为。则莫尔条纹1 由两光栅各同刻线交点[0，，[，，连构成。则莫尔条纹 由两光栅各同刻线交点[0，，[，，连构成。则莫尔条纹 由两光栅各同刻线交点[，，[，，连构成。 图长光栅莫尔条纹形成原理 又设主光栅的栅距为指示光栅的栅距为由图中看出主光栅的刻线方程为i=iW1 指示光栅的刻线j与轴的交点的坐标为；∴ 莫尔条纹1是由主光栅指示光栅同i=j刻线的交点连接而成 x轴： xi.j = iW1