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太原理工大学大学生创新性实验 编号:100110 项目中期汇报 内容导览 2 成员介绍 指导老师：孟庆森教授 青年教师：胡利芳博士 组内成员：龙洋 李云 张华 谢瑞山 3 开篇引题 4 MEMS的应用 现状—— 已形成可用性产品，主要是微传感器、微执行器等器件级产品 应用—— 光信号处理、生物医学、机器人、汽车、航空航天、军事和日用电器等领域 已得到广泛的应用，并有巨大潜在的应用前景和经济效益 功能上可以开发出许多以往无法实现的产品 微型化替代以前人类无法完成的某些工作 可能象微电子一样，引发一场新的技术革命 作用—— 5 阳极键合 阳极键合技术 阳极键合技术是一种连接金属、半导体与陶瓷材料的很重要的方法。 永久性键合 没有失效期 不受外界因素影响 6 实验名称 7 实验进度 3月 创新性实验 启动 4月 5月 6月 9月 3月中旬，第一次与导师交流 5月初，再次与导师交流 6月初，实验开始，熟悉设备，老师示范 7月 7月初，汇报交流 10月 9月底，实验中期交流 查阅资料 7 实验原理 阳极键合过程实质是固体电化学反应过程，在高温高压下，玻璃中的碱金属氧化物电离，通电后施加于两极板之间的电场使玻璃中的碱金属离子（主要是Na+）从阳极附近迅速向阴极移动。 9 实验原理图 10 压力控制装置 2. Si片 3.玻璃 4.加热板