96学年下学期期末考题 .docVIP

96 學年第二學期 義守大學資工系 RFID製程與材料期中考 姓名: 學號: 陳柏頴老師命題 ※ 1. 請以另計答案紙作答, 可攜帶簡單非工程用計算機 2. 答案紙記的寫姓名與學號, 否則扣分 一、說明題 (100 points) 1.試解釋為何矽為最常使用的半導體材料 ? 〔解答〕(i)因為矽可以有單晶的結構，所以其材材料改質具周期與可預測性。 (ii)半導體元件所需的各種成份均可由矽材改質而獲得。 (iii)矽是地表上最大藏量，所以可以用相當便宜的成本即可獲得，畢竟矽可以從砂中精鍊而得。 (iv)相當容易去完成由矽開始的材料改質。 2. 半導體製程中particle產生的來源為何? 〔解答〕1. 操作員(operator): 生產線所有操作人員是particle 產生的最大源頭且也是最難捉摸與掌控的污染源(因為操作員是隨時隨地在移動)。 Particle (微粒子)在操作員上之來源可從衣服、手套、皮屑、口沬、油脂, ----等此類particle之改善可從工作紀律(displance)作要求而獲得改善。 2. 製程過程: 製程過程包括生產機台或生產之原物料都是particle產生的來源，此類particle 可由