潔淨室環境智慧型污染監測與控制系統開發計畫.docVIP

一、目的： 。 產業型態： □IC廠 □ 6’ □ DRAM □ 8’ □ Logic □ 12’ □ A □ TFT廠 □ G3.5~G4.5 □ G5、6 □ G7以上 FAB型式： □ 3層 □ 4層 3. Dry Pump擺放位置：□ Clean Sub FAB □ Dirty Sub FAB 可複選 4. Local Scrubber擺放位置： □ Clean Sub FAB □ Dirty Sub FAB 可複選 5. 可用長度： 最長距離 m 6. 依您個人主觀認定，您認為本系統的價值是多少 NTD ？ 含FTIR設備、診斷系統與試俥施工 □ 200萬以下 □ 200萬 ~ 400萬 □ □ 600萬 ~ 800萬 □ 800萬以上 7. 其他意見： 若有其他問題，請洽亞翔工程研發組 楊政諭經理 Tel:03-座机电话号码 #710 Cellphone:0963-384-710 e-mail: cy_yang@.tw 黃士軒工程師 Tel:03-座机电话号码 #731 Cellphone:0963-184-320 e-mail: terry74925@.tw ※ 感謝您的配合，請將調查表回覆予亞翔研發組E-mail: tzulin@.tw 潔淨室環境智慧型污染監測與控制系統開發計