高纯度电子特种体市场开发前景——硅烷SiH4、磷烷PH3、砷烷AsH3.docVIP

高纯度电子特种气体市场开发前景——硅烷SiH4、磷烷PH3、砷烷AsH3 高纯度特种气体（硅烷SiH4、磷烷PH3、砷烷AsH3）广泛应用于电子行业、太阳能电池、移动通讯、汽车导航、航空航天、军事工业等方面。目前我国只能生产纯度在3N~4N标准的特种气体，而在许多重要领域，比如：国家战备武器研究和神州五号运载火箭上的控制系统的电子原器件的制造，以及卫星上使用的太阳能电池的制造等方面所急需的6N标准的气体全部依靠进口。目前世界上只有美国、俄罗斯等发达国家才能生产。美国的SOLKATRONIC公司经销该种气体，我国进口该种气体常常因国际形势紧张和变化而受到阻碍，因此直接制约了上述相关领域的发展。白俄罗斯无线电材料研究所在前苏联时期承担了研制高纯度特种气体的任务，具备研制和生产这种气体的能力。经过磋商，白方愿同我方合作，提供技术共同开发该项产品。本项目主要利用该所研制的烷类气体深度提纯技术，在中国建立高纯度特种气体的研究基地及产业化基地，解决我国急需的高纯气体材料的国产化问题，使硅烷、磷烷、砷烷气体的纯度达到6N（99.9999%）。该项目在国内属首创，技术指标达到国际同行业先进水平，填补我国高纯度特气生产空白，彻底改变我国电子特气长期受制于人的局面。二、? ??国内外现状中国的超纯度特种气体研制始于1983年，当时从事这一工作的单位有北京氧气厂、浙江大学、大连光明化学所和保