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Facility Monitoring and Control System Design Guide 厂务设施中央监控系统设计指引 技术手册 高科技项目/仪电组 目 录 1.0 系統簡介 3 1.1 系統用途 3 1.2 主要設備 3 1.3 控制功能 5 2.0 設計準則 5 3.0 設計步驟及注意事項 7 3.1 建立廠務監控系統架構圖 7 3.2 依設備需求製作控制系統之I/O List 9 3.3 繪製各系統設備之控制流程 概念 圖 10 3.4 選擇相關軟體 10 3.5 控制器與儀器平面配置圖 11 3.6 廠務監控系統規範書 11 3.7 儀器規範書 12 3.8 完成廠務監控系統圖面設計與規範 12 3.9 圖面設計與規範書之校核、審定與核准 12 3.10 圖面設計與規範書確認 13 1.0 系统简介 1.1 系统用途 半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺利，维持高良率。 负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统 统称为SCADA，Supervisory Control And Data Acquisition System 例如Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW SCADA….等。 中央监控系统 FMCS ，简单的说是将许多不同系统性质之监控子系统 SCADA ，进行信息之整合，进而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。 1.2 主要设备 厂务监控系统，主要之设备如下： 控制器 PLC Program Logic Controller 可程控器 DDC Direct Digital Controller 直接数字控制器 SLC Single Loop Controller 单回路控制器 DCS Distribution Control System 分布式控制系统 目前半导体电子厂之FMCS架构大都 以PLC或空调用DDC 为Base较多。 监控平台﹕ 人机界面 Human Machine Interface，HMI 广义而言，只要是提供操作者与机器设备沟通、操作，控制及管理的工具接口，都算人机界面 HMI ，例如传统的控制盘，Mimic Board，Annunciation，控制台Operation Console...等。 在FMCS系统, 所有以往的操控接口都可在计算机上执行，因此对现代的中央监控系统而言，HMI指的是透过PC及图控软件所执行的厂务监控设施。一般人机界面包括: 监控计算机 Engineer、Operator and Other Viewer Station 服务器 Data、Alarm、Web or Others Server 系统软件 喷墨或雷色彩色打印机 Trend，Historian 针式打印机 Alarm 网络集线器 Switch Hub 其他 警报系统 通讯网络 Communication Network 通讯系统标准化 目前PLC 之通讯网络发展，皆以标准之模块化通讯协议 Protocol ，取代以往透过 Gate Way 程序编译之软件方式。 通讯网络模块 Communication Module 之网络阶层。 信息层 Information Layer 控制层 Control Layer 设备层 Device Layer 系统软件 PLC 系统软件，目前大多建立在Windows工作环境依其功能/用途可分为: PC作业环境软件 PLC 编辑软件 FMCS 图控软件 Server软件 其他驱动程序/软件 传输媒体 Physical Media —电缆 信息层/控制层 二芯对绞线 Twisted Pair 同轴电缆 Coaxial Cable 光纤电缆 Fiber Optic Cable 设备层 二芯对绞线 Twisted Pair 现场仪器设备 装置于电子厂房各厂务系统之现场管线 Pipe or Duct 、容器 Vessel 、水槽 Tank 、集水坑 Pit 或其他机械设备上之压力、温度、湿度、露点、焓值、差压、流量及液位之仪器开关 Switch 、传送器 Transmitter 及现场传感器 Sensor/Element 等。 控制阀类 对制程上流体之差压 压力 、温度、湿度、露点、焓值、流量、液位等，做适当之节流或ON/OFF之控制。 1.3 控制功能 FMCS/Scada 功能﹕ 在F