DH-5000B短路调查报告.docVIP

1ME事故調查報告書 文件編號: 文件傳送和做成.審核.批准 收件 PLAT,2#ETCH2, QA,QAE 作成 任 鳳 舉 抄送 相關經理/副經理 審核 FAX 郝紀明,楊楓,楊喜 批准 文件核心內容描述 事故主題 DH-5000B短路 事故責任 2#ETCH2,PLAT 事故描述 DH5000B 64#LOT 生產總數2220PCS,報廢數量47PCS,短路報廢率:2.12%. 原因調查 放大鏡觀察和切片分析: 在放大鏡觀察發現短路處有如下情況: 1.脫膜未淨平面圖 2. 脫膜未淨平面圖 3.脫膜未淨切片圖 4.脫膜未淨切片圖 通過對短路板的考察,發現此批問題板主要存在以下兩個問題: 脫膜未淨造成的短路,約占80%; 板角孤立線夾膜造成的短路,約占20%; 因孤立線處于高電位且線隙較小4.3MIL ; 原因調查 三.短路處的圖電銅厚: 單位:UM 17 A/PNL電流生產 切片序號 1 2 3 4 5 6 備注 線路圖電銅厚 35.5 33.5 35.5 32.75 37.5 33.75 四.電流測量 每台整流机的總電流 經ME測量2#CU/SN線的整流机電流輸出誤差均在±5%以內; 五.蝕刻前脫膜速度的考察 此批板2#ETCH2為7月16日白班生產,當時的脫膜速度為1.8M/MIN 前期生產汽車板時的脫膜速度為1.4M/MIN ; 結論